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哈工大和哈工大深研院在超精 密加工领域的状况 杜建军 哈工大深圳研究生院 1 哈工大深研院在超精密加工领域的状况 超精密加工技术是机械制造领域的重要方面，它的发 展是尖端技术的基础，它的成就将是推动整个科技向更高层 次发展的重要手段。 “财富”杂志上有这样一句话“超精密加工技术对光 学元件的作用犹如当初集成电路对电子元件的作用”，非常 形象地说明了超精密加工对整个社会和经济发展的重要性。 2 Harbin Institute of Technology Shenzhen Graduate School 1 哈工大深研院在超精密加工领域的状况 哈工大深研院在精密超精密加工方面开展了深入的研究，开展了用于超精密 和超高速加工领域的气体润滑技术研究，开发了超精密机床的精密气浮主轴、精密 气浮导轨、超高速气浮电主轴，以及单点金刚石超精密数控车床和基于并联机构的 抛光机等等，建立了相应的实验和检测环境。 (1) 超精密车床气浮刀架轴的研制 为沈阳第一机床厂开发的超精密车床气浮刀架轴 (加工菲涅耳透镜，已成功实现产业化) 3 Harbin Institute of Technology Shenzhen Graduate School 1 哈工大深研院在超精密加工领域的状况 (2) 超高速气浮电主轴的研制 激光光点(红) 1) 超高速气浮电主轴照片 2) 激光测速照片（图中转速为11427x10 (用于PCB板微小孔钻削加工) 万转，即11万转左右） 3) 动态偏摆为4μm 4) 静态偏摆测试(1μm) 5) 刀具夹持力矩测试(100N·cm) 哈工大深研院开发成功的15万转气浮电主轴 4 Harbin Institute of Technology Shenzhen Graduate School 1 哈工大深研院在超精密加工领域的状况 (3) 用于小型光学零件加工的单点金刚石超精密数控车床的研制 联合深圳航天科技创新研究院，开发成功了加工对称回转面的超精 密车床，样机在哈工大深研院。 本提升项目的技术指标为： 加工零件的表面粗糙度：30nm ； 主轴回转精度：轴向50nm ，径向50nm ； 主轴最高转速：2000rpm ； X轴、Z轴行程：140mm ； 直线光栅分辨率：1nm ； 导轨直线度（敏感方向）：0.3μm/全行程 ； 5 Harbin Institute of Technology Shenzhen Graduate School 1 哈工大深研院在超精密加工领域的状况 总体布局图 Z X 主轴 刀具(如想快刀加 工，安装FTS模块) (a)俯视图 (b)前视图 主轴 X Z ω 主轴