质量流量计SC51 D07-60G使用手册(2013.6.26).pdfVIP

D07 – 60G/60GM 型 质量流量控制器/流量计 使 用 手 册 2013 . 6 目 录 1. 用途和特点………………………… 1 6. 注意事项 …………………………… 16 2. 主要技术指标……………………… 2 6.1 禁用流量介质 ……………………… 16 3. 结构和工作原理…………………… 3 6.2 使用腐蚀性气体问题 ……………… 16 3.1 结构………………………………… 3 6.3 阀口密封问题 ……………………… 16 3.2 工作原理…………………………… 3 6.4 阀控操作注意 ……………………… 17 4. 安装和接线 ……………………… 4 6.5 安装位置问题 ……………………… 17 4.1 外形及安装尺寸…………………… 4 6.6 注意工作压差 ……………………… 17 4.2 气路接头形式……………………… 9 6.7 标定和不同气体的换算 …………… 17 4.3 连接电缆插头……………………… 10 6.8 D07-60G、60GM 标准订单填写格式 18 4.4 与计算机信号的连接……………… 11 7. 故障判断和处理 …………………… 21 4.5 调零和外调零……………………… 13 8. 保证、保修与服务…………………… 23 5. 使用方法和操作步骤 ……………… 14 8.1 产品保证和保修..…………………… 23 5.1 质量流量控制器的操作…………… 14 8.2 保修对使用的要求..………………… 23 5.1.1 开机操作………………………… 14 8.3 服务..………………………………… 23 5.1.2 清洗功能………………………… 15 9. 附录..………………………………… 25 5.1.3 显示仪与计算机连接的操作…… 15 9.1 气体质量流量转换系数 …………… 25 5.1.4 直接与计算机连接的操作……… 15 9.2 转换系数使用说明 ………………… 27 5.1.5 阀控功能………………………… 15 5.1.6 关机操作………………………… 15 MASS FLOW CONTROLLER MASS FLOW METER 质量流量控制器和质量流量计 使 用 手 册 1. 用途和特点 质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流 量控制器 (Mass Flow