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RENA设备维护操作及工艺
RENA设备一般操作及 个别配件保养 操作 1.1.1设备指示灯及所代表的状态 颜色 状态 信号声音 表示 持续亮 关 提示有报警信息 红色 闪烁 开 提示有不能删除的报警（级别最高 ） 持续亮 关 手动操作 黄色 闪烁 开 提示有报警信息 持续亮 关 自动操作，生产中 绿色 闪烁 关 初始化阶段 持续亮 关 蓝色 待机，上料台没片 闪烁 1.1.2 PC中显示状态及灯塔颜色初判报警级别 灯塔报警颜色表示报警级别 1.1.3 设备内自设的权限 这是设备内部的所有的用户名及密码，级 别由低到高 1.1.4 用户登录 点击login 登陆界面出现 输入用户名和密码，点击 OK 维修 1.1更换及清洗滤芯 • 更换清洗滤芯用于 刻蚀槽，酸槽，碱槽。 • 1.1.1 准备 • 登入界面：输入用户名和密码 • 将设备状态打到manual模式 1.1 将界面切换到 manual functions 点击 drain 先将TANK的药液排空 1.1 • 同理如果想更换哪个部分 滤芯只要将该部分的补液灌 也排空 排空后用水枪多次冲洗，然 后再点击drain.排空冲洗槽子 的水。 1.1 去设备后部，打开防溅门 水枪准备好，有漏液要及时冲洗 1.1 带好防护用具，按照 图示将滤芯拆下，切 记注意酸的溅漏。 拆下滤芯清洗， 或者更换新的滤 芯，然后再装回 去 1.2 更换风刀的滤芯 • 风刀的滤芯是过滤车间的空气，使得利用进入风刀的空气洁净， 不影响硅片质量，长时间使用后要及时的清理或者更换滤芯。 红色标注部分为空 气滤芯的位置 将支撑杆拆下就 可以将两个滤芯 拆下清洗或者更 换 1.2 同时，将蓝色的海绵滤芯也要进行清 洗和更换 1.3维修 更换传动链 • 有时候随着设备的长时间使用，传动链会有些松动，这个时候就 需要维护的时候查看，是否需要将它调节。 • 1先将设备运行状态
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