SHG-PI-066 VCP连续电镀作业指导书.docxVIP

文件修改记 录页码版本修改内容生效日期AllA.0 首次颁布2016-12-16受控文件保管者记录序号分发单位1生产部总页数：共 页编 制：审 核：批准：1.0目的:为 VCP 连续电镀铜线提供一份操作指引，避免因操作不当导致产品品质问题。2.0范围:适用于 VCP 连续电镀铜线的生产操作。3.0定义:VCP:加厚孔铜及表铜厚度。4.0职责:4.1 生产部:负责日常生产操作及保证工作参数条件正常、药品添加，机器日常保养。4.2 工艺部:负责为流程问题提供技术支援，负责日常药水分析，并发出药水调整指示。4.3 维修部:负责生产设备的维修服务及保养。4.4 品保部:负责生产产品的品质监控及生产制作过程的监控。5.0作业内容:5.1流程：上板→酸洗→前缓冲→电镀铜→后缓冲→二级加压水洗→下板烘干→退镀→上喷水洗→上板5.2 工艺参数要求:缸名药水名称控制范围缸体积最佳管控分析频率过滤循环循环流量处理时间操作温度备注酸性脱脂（酸洗）硫酸3-5%1026L3%1次/天有无1-3min25℃铜缸硫酸铜70-90g/l21000L(不包括副槽）80g/l1.药水分析：2次/周2.槽片分析：1次/周有350-550L/min30-60min25℃硫酸200-240 g/l220g/lCLˉ50-70ppm60ppm铜光剂FV-1005-15 ml/l8-12ml/l自动加药标准：1.FV100A:FV100C=10：12.60-120ml/KA.H退镀硝酸25-40%450L35%1次/天无/1-5min室温注：每月定期取铜缸样做光剂的 CVS 分析，分析其中光剂和有机物（TOC）含量分析。结果报告由化验室保存，如果结果超出控制范围立即按供应商提供的方法调整。1.TOC 含量标准:TOC≤5000ppm2.CVS/TOC 外发分不合格时处理方法:a. TOC 超标时立即安排碳处理，碳处理前如继续使用需对生产板做热冲击测试，如孔铜异常立即停止生产。 b. CVS 分析光剂不合格时，首先根据分析结果对药水进行调整。同时进行 HULL CELL 测试和热冲击测试，两种测试都无异常时可继续生产，如有异常，须对此期间生产板进行隔离评估。5.3 设备能力项目范围数量功率备注生产板最大尺寸622mm*547mm///生产板最小尺寸355mm*406mm///生产板最大厚度3.2mm///生产板最小厚度0.2mm///最快输送速度1.1m/min//最慢输送速度0.3m/min//均匀性要求≤5%电流密度40ASF，孔铜25um延展性要求≥20%///深镀能力0.25mm孔径，纵横比6.4：1 的通孔，电镀参数：25ASF×50min，深能力≧85%。5.5单轨式垂直连续电镀铜设备开机前注意事项:5.5.1合在电箱面板上电源总开关（扳到ON位置），启动上料区控制电箱面板上的控制电源按钮。上料区电源控制按纽5.5.2确认各紧急停止及拉绳开关处于正常状态。5.5.3确认温度，液位，循环泵，过滤泵，整流器，纯水，冰水系统，添加泵，鼓风机，气压是否正常。5.5.4确认各进水管，排水管阀门是否处于正常位置。5.5.5检查各感应器，限位开关，传输装置是否异常。5.6单轨式垂直连续电镀铜设备开关机步骤:5.6.1开机前确认事项： 5.6.1.1确认各周边设备处于开启状态。 5.6.1.2检查各阳极升降机构是否归定位，上下料是否在原位，完成后待机完成指示灯亮起。 5.6.1.3确认整流器模式为自动模式。5.6.2开启自动运转，按下自动按钮3秒钟后，发出开机提示音6秒后，系统自动运行。5.6.3从监控系统里输入产品资料，确认上料资料无误后传送到PLC，把上料/不上料开关打到上料，设备开始上板；把上料/不上料开关打到不上料，设备停止上板。当传动速度不同时必须清除前处理槽和铜槽前所有产品才能在上板。5.6.4当上料完成后，待所有生产板下料完毕，按下触摸屏里的自动停机画面里的停止按钮3秒后，系统开始自动关闭程序，各移载升降回到起始位，待机完成指示灯亮起，系统停止运转。5.6.5关闭所有周边设备，按下控制电箱上的控制电源停止按钮，切断控制电源。5.7指示灯介绍：5.7.1自动指示：设备自动运转状态下指示灯一直亮；自动停止不亮。5.7.2停机指示：设备出现故障时，灯闪烁；没有自动运转且没有故障时一直亮；自动运转状态下灯不亮。5.7.3异常指示：自动启动前六秒或者设备出现异常时灯闪烁，没有异常灯不亮。5.7.4温度异常：温度出现异常时灯闪烁，温度没有异常灯不良。5.7.5液位异常：液位出现异常时灯闪烁，液位没有异常灯不良。5.7.6周边异常：周边出现异常时灯闪烁，周边没有异常灯不良。5.7.7电流异常：电流出现异常时灯闪烁，电流没有异常灯不良。注：设备故障包括上