Heliot 系列技术交流会200910.pdfVIP

Heliot系列技术交流会 氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪 （一般基础般基础） 爱发科商贸（上海）有限公司 1 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD 主要内容 1.Heliot系列的概述 22.HHeliliott的的结结构构及排气系统及排气系统 3.分析管析管的原理 4.校正时感度的计算方法 5.Heliot相关的保养项目 66.真空法和吸真空法和吸枪枪法法的特点和相关介绍的特点和相关介绍 2 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD 选用Ｈｅ的理 由 无毒，无污染无毒，无污染 化学性质稳定化学性质稳定 对人体，环境无影响对人体，环境无影响 惰性气体惰性气体 分子分子直直直直径小径小 吸附能力低吸附能力低 穿透能力强穿透能力强 对测量本底影响小对测量本底影响小 空气中含量低空气中含量低空气中含量低空气中含量低 不燃不燃不燃不燃 对测量的影响小对测量的影响小 安全性好安全性好 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD 1. 检漏仪系列 ULVACULVACULVACULVAC检检检检漏漏漏漏仪仪仪仪系列系列系列系列 100系列 300系列 700系列 HELIOT利用磁场偏转型质量分析计的原理、进行氦检 测的氦气质谱检漏仪。以具有自动流量选择功能的专用排 气系统为基础设计气系统为基础设计；具有全自动具有全自动、情报量丰富操作方便等情报量丰富操作方便等 特征。 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD 2.Heliot7002.Heliot700的结构的结构 目前为止Heliot700系列有701、702(A、B)、704、706、710 （新 品品）；）；其排气系统采用分析管其排气系统采用分析管、复合分子泵等复合分子泵等HeliotHeliot专用设计的排气专用设计的排气 组件。因此可以实现自由选择流量排气形式，达到最大接触压力 -13 -3 3 1200Pa、灵敏度范围可达10 -10 Pa.m/S的性能。 内部主要组成部件有内部主要组成部件有：：前级泵前级泵、分子泵分子泵、阀座阀座 （（电磁阀电磁阀））分析管分析管、 离子源、放大器电板、各控制电路板等。其优点是全自动、自动感度 校正；体积小；便于微漏的检测；触摸屏控制、操作简单。 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD