电液动力微泵微电极的不同制作工艺的比较-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ７ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．７ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ ７ Ｊｕｌ．２００９ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０７１６３５０５ 　 电液动力微泵微电极的不同制作工艺的比较 １ １ ２ １ 于 翮 ，张 强 ，乔大勇 ，俞 坚 　 　 　 （ 北京工业大学传热强化与过程节能教育部重点实验室及传热与能源利用北京市重点实验室，北京 ； １． １０００２２ ２．西北工业大学 陕西省微纳米系统实验室，陕西 西安 ７１００７２） 摘要：基于 ＭＥＭＳ加工技术的电液动力微泵在微流体冷却系统和解决高热流器件的冷却问题中占有重要地位。电液动 力微泵的核心部分是通过 ＭＥＭＳ加工工艺制作的由成对的发射极和集电极组成的微电极。在电极对间的强电场作用 下，电介质流体中的离子、极子以及微粒同电场相互作用来驱动流体流动。本文系统地讨论了微电极在设计和制作中需 要关注的问题：电极材料的选择方针，多种形状的电极设计和两种电极加工工艺—电镀法和剥离法的对比。实验结果表 明：贵金属有更好的抗电化腐蚀能力；同普通平行电极结构相比，带有尖锐结构的电极更能提高微泵的性能；相比电镀 法，剥离法能更好地提高电极的制作质量。 关 键 词：电液动力效应；微机电系统；微泵；微电极 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＨ３８ Ａ 　　 犆狅犿 犪狉犻狊狅狀狅犳犱犻犳犳犲狉犲狀狋狉狅犮犲狊狊犲狊犻狀犿犪犽犻狀 犈犎犇犿犻犮狉狅狌犿 犲犾犲犮狋狉狅犱犲 狆 狆 犵 狆 狆 １ ２ ２ １ ， ， ， ＹＵＨｅ ＺＨＡＮＧＱｉａｎ ＱＩＡＯＤａｏｎ ＹＵＪｉａｎ ｇ ｙ ｇ （ ， １．犓犲犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犈狀犺犪狀犮犲犱犎犲犪狋犜狉犪狀狊犲狉犪狀犱犈狀犲狉 犆狅狀狊犲狉狏犪狋犻狅狀 犕犻狀犻狊狋狉 狅 犈犱狌犮犪狋犻狅狀 狔 狔 犳 犳 犵狔 狔 犳 ， ， ；