光刻显影设备方案.docVIP

上海交通大学 WEWST01型光刻显影设备 技术协议文件 客户确认： CHINASC确认： 地址：北京市通州区宋庄镇小堡工业区 电话：0108009 传真：0108006 邮编：101118 Http?： 北京市华林伟业电镀器材有限公司（./）是一家生产制造，感谢您垂询的相关设备，我们能为您提供以下生产设备 AB半导体分立器件（晶圆、石英管等）清洗刻蚀设备 C半导体硅晶圆片碱腐蚀设备 D酸腐蚀设备E微电子实验室化学湿台/腐蚀台 F微电子实验室存储通风柜 G双管式工程塑料槽加工 我们设备具有强大的竞争力我们已经遥遥领先我们设备，能将您的风险减到最低.概述 1.1设备概要 名称：型号：WEWST0数量：一台(套)重量：Kg( 大约)； 适用于：4寸单篮（25片/篮）传送方式：人工传送工艺流程,性能稳定,安全可靠 设备成本合理, 净化占地面积小，造型美观、实用,结构合理, 操作符合人机工程原理,七年品质保障,使其各部分远远领先同类产品; 2.工艺流程 2.1外形结构图：2.2台面布局图： 2.3清洗槽工位技术参数：工位 1# 2# 3# 4# 介质 温度 ---- ---- 功能 槽体材料 3.设备技术参数 3.1整机 尺寸（长×宽×高）：约×1100×1800mm 主要材料：德国进口10mm瓷白PP板机壳，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材，需满足去离子水水质要求，采用国际标准生产加工，焊接组装均在万级净化间内完成排风：位于机台后上部工作照明：上方防酸型照明附件：DI/N2Gun：各一只台面板为德国10mm PP板（带有形漏液孔）控制方式：.2 DWI清洗槽（#） 数量：套清洗液：DIW 供液：手动槽体尺寸（有效尺寸）：×250×250mm（详见图纸） 由槽体，鹅颈水龙头、管路组成。 3.4防护门 材质：前方防护门为透明PVC材质形式：活动门 .5设备排风系统 设备设有排风排风（排风压力、风量根据实际情况或客户要求设计）将设备内挥发的有毒气体抽到车间排风管道或户外（室外排放遵守国家环保要求），避免扩散到室内排风通道内设有风量导流板，从而使排风效果达到最佳双排风单独隔离装置 .6给排水/废液系统 给水管路为英制接口，一路去离子水给排水排废接头均为活性连接 .7设备技术参数 电源（用户提供）：380VAC±10％整机平均耗电功率：根据客户实际生产情况设定气源（用户提供）：3/8” （0.4～0.6Mpa） 上水：DN*1 排风：DN0*2 排废液：DN50*1 所有上液及排液管路接口均配有由令.设备验收 4.1主要数据 4.1.1工件 玻璃基板 4.1.2材质 客户提供 4.2验收测试 4.2.1验收测试分为静态验收、动态验收两部分，符合此两项标准则验收合格 设备厂家负责提供验收用工具 设备静态、设备动态验收 设备静态、设备动态验收是由设备制造厂提供验收项目清单验收 制品验收 使用合格零件，对设备清洗，按设备技术要求中的产品技术要求验收 洁净度：目测工件表面无油、无屑、无其他固体杂质 4.3最终验收 4.3.1最终验收内容包括：本体的外观、设备附件、备品备件等的验收；设备安全性、加工节拍、设备稳定性等的验收。 本体外观的验收 设备的颜色和买方提供的色板一致 设备的喷漆和电镀部分无划痕、欠缺 设备附件、备品备件等的验收 要求附件、备品备件数量和型号和合同清单一致 设备稳定性验收 连续生产8小时，要求无因设备故障原因的停机 安全验收标准：按中华人民共和国安全标准 5.技术服务 5.1华林伟业公司负责设备现场安装，并于安装前一到两周提供安装场地要求 5.2免费提供从调试之日起一年的技术支持及服务，终生维护 5.3提供设备相关硬件、软件升级服务 5.4提供详细的操作、维护、应急处理培训，具体内容如下： 序号 内容 参与培训人员 开始时间 时间 备注 1 设备原理 结构培训 负责设备的电气及机械工程师 在用户通电调试一周后 2天 提供设备说明书及培训资料 2 应急处理 维修保养 负责设备的电气及机械工程师 在用户通电调试一周后 3天 提供设备说明书及培训资料 3 设备原理 结构培训 设备使用人员 在用户通电调试三周后 2天 提供设备说明书及培训资料 4 设备操作 应急处理 设备使用人员 在用户通电调试三周后 3天 提供设备说明书及培训资料 5.5设备说明书—