粗硅的氧化精炼-昆明理工大学学报.PDF

第３７卷 第６期 昆明理工大学学报（自然科学版） Ｖｏｌ．３７　Ｎｏ６ 　 ２０１２年１２月　 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＫｕｎｍｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ） 　 Ｄｅｃ．２０１２  ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００７－８５５ｘ．２０１２．０６．００３ 粗硅的氧化精炼 戴永年，马文会，杨　斌，刘大春，栗　曼，魏钦帅 （昆明理工大学，云南 昆明６５００９３） 摘要：冶金法精炼硅制多晶硅（６Ｎ），供太阳能电池使用，其成本可能较低而受到关注．冶金法中 重要的一步是氧化法，它将粗硅中的杂质氧化成化合物的自由能（ Ｇ）位低的全部或部分除去， △ 如Ａｌ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｂ、Ｃ等．氧化精炼硅用的方法有炉中吹炼、等离子吹炼；吹的气体有氩气、氮气、氧 气、空气、ＨＯ、ＣＯ和氢气等．本文将研究工作和工厂实践集中归纳，力图明晰氧化法精炼硅的 ２ ２ 规律，以利于进一步深入研究和生产实践． 关键词：多晶硅；氧化法；吹炼；等离子气；Ｈ／Ｏ 比 ２ ２ 中图分类号：ＴＦ８９ 文献标识码：Ａ 文章编号：１００７－８５５Ｘ（２０１２）０６－００１２－０９ ＯｘｉｄａｔｉｏｎＲｅｆｉｎｅｍｅｎｔｏｆＣｒｕｄｅＳｉｌｉｃｏｎ ＤＡＩＹｏｎｇｎｉａｎ，ＭＡＷｅｎｈｕｉ，ＹＡＮＧＢｉｎ，ＬＩＵＤａｃｈｕｎ，ＬＩＭａｎ，ＷＥＩＱｉｎｓｈｕａｉ （ＫｕｎｍｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｋｕｎｍｉｎｇ６５００９３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｍｅｔａｌｌｕｒｇｉｃａｌｍｅｔｈｏｄｔｏｒｅｆｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎｆｏｒｍａｋｉｎｇｍｕｌｔｉ－ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎｃａｎｍｅｅｔｔｈｅｎｅｅｄｏｆ ｓｏｌａｒｃｅｌｌｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ．Ｔｈｅｍｅｔｈｏｄｈａｓｄｒａｗｎｐｅｏｐｌｅｓａｔｔｅｎｔｉｏｎｄｕｅｔｏｉｔｓｌｏｗｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎｃｏｓｔ．Ａｓａｎｉｍｐｏｒｔａｎｔ ｐａｒｔｏｆｔｈｅｍｅｔａｌｌｕｒｇｉｃａｌｍｅｔｈｏｄｔｏｒｅｆｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎ，ｏｘｉｄａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｍａｋｅｓｍａｎｙｉｍｐｕｒｉｔｉｅｓｏｆｃｒｕｄｅｓｉｌｉｃｏｎｔｈａｔ ｈａｓｌｏｗｏｘｉｄｉｚｅｄｆｒｅｅｅｎｅｒｇｙ（Ｇ）ｌｅｖｅｌｂｅｏｘｉｄｅｓｔｏｌｅａｖｅｓｉｌｉｃｏｎ，ｓｕｃｈａｓＡｌ，Ｃａ，Ｔｉ，ＢａｎｄＣ．Ｉｔｓａｐｐａｒａｔｕｓ Δ ｉｎｃｌｕｄｅｓｆｕｒｎａｃｅｓｗｉｔｈｐｌａｓｍａｊｅｔｏｖｅｒｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆｔｈｅｓｉｌｉｃｏｎｍｅｌｔ ，ａｎｄｂｌｏｗｉｎｇｇａｓｆｒｏｍｔｈｅｆｕｒｎａｃｅｓｂｏｔｔｏｍ ｐｉｐｅ．ＴｈｅｒｅａｃｔｉｎｇｇａｓｅｓｃａｎｂｅＡｒ，Ｎ，Ｏ，ａｉｒ，ＨＯ，ＣＯａｎｄＨ．Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒｔｈｅｒｅｓｅａｒｃｈｗｏｒｋｓａｎｄｐｌａｎｔ ２ ２ ２ ２ ２ ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎｐｒａｃｔｉｃｅｓｏｆｒｅｆｉｎｉｎｇｓｉｌｉｃｏｎａｒｅｃｏｌｌｅｃｔｅｄｔｏｆｉｎｄｔｈｅｌａｗｏｆｏｘｉｄａｔｉｏｎｒｅｆｉｎｉｎｇｓｉｌｉｃｏｎｆｏｒａｄｖａｎｃｅｄｒｅ ｓｅａｒｃｈａｎｄｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎｏｆ６Ｎｓｉｌｉｃｏｎ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｍｕｌｔｉ－ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎ；ｏｘｉｄａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄ；ｂｌｏｗｉｎｇｓｍｅｌｔ；ｐｌａｓｍａｇａｓ；Ｈ／Ｏｒａｔｉｏ