微电子机械系统在生物医学领域中的应用-光学精密工程.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精 密工程 , 年 月 , ‘ 微 电子机械系统在生物 医学领域 中的应 用 马建旭 王 立鼎 吴一 辉 中国科学院长春光学精密机械研 究所 , 长春 摘要 本文介绍 了国际上 微 电子机械 系统研 究 的状况 以及发 展趋 势 , 阐述 了 目前 微 电 机械系统在 生物 医学 中的应 用和 研 究开 发 的方 向 并详细 地 介 绍 了 日本 在 微 小 子 血管检 测 系统方 面所作 的研 究工 作 最后提 出了应 用于 医疗领域 中的微 电子机械 系统 的发展前景 。 关键词 微 电子机械 系统 生物 医学 微 小血管检测 系统 微 电子机械系统研 究国际发展概况 微 电子机械 系统 简称微机 械 作 为二十世 纪末新 型 前沿 学科 , 发 展十分迅猛 , 并开 创 了微 电子学 、 微机构 学 、 微摩擦 学 、 微流体 力学 、 微细加 工 技 术等新 的研 究领 域 。 目前微 电子机 械 系 、 、 、 统 已广泛应 用于 生物 医学 航夭 军 事 工业和农业 等方面 , 并导致 了人类认识能力和 改造世 界 、 。 、 能力 的重大 突破 , 从而给 国 民经 济 人 民生 活和 军事 国防带来 了深远 影 响 它 已成 为 以美 国 日 、 国为 多发达 国 究 的热 点 。 本 德 代表 的许 家研 美 国是最早研 究并试 制微机械成 功 的 国家 。 美 国对 微机械 的研 究始于六 十年代 中期 、 八十 年代 后期 引起 普遍 重视 。 美 国国家基 金会 于 年 投 入 万美 元科研 启动 费支持 所 大 学 开 。 始 微 电子机 械 系统 的主要 项 目研 究 , 年 又 将 经 费增 加 到 万美元 此 后 , 每年 投 入 万 。 、 “ 美 元 支持 一些 学 校进行研 究 年美 国国家关键 技术委 员会 在提 交 总统 的报告 中将 微 纳