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Simple ThermalEfficiency Model for CMOS (简单的CMOS ThermalEfficiency模型)

Volume 111, Number 3, May-June 2006 Journal of Research of the National Institute of Standards and Technology [J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol. 111, 243-253 (2006)] Simple Thermal-Efficiency Model for CMOS-Microhotplate Design Volume 111 Number 3 May-June 2006 Jon Geist, M. Yaqub Afridi, Simple, semi-empirical, first-order, analyt- Key words: CMOS; low-voltage; MEMS; Ankush Varma, and Allen R. ic approximations to the current, voltage, microhotplate; model; sub-micron. and power as a function of microhotplate Hefner temperature are derived. To lowest order, the voltage is independent of, and the National Institute of Standards Accepted: March 16, 2006 power and current are inversely propor- and Technology, tional to, the length of the microhotplate Gaithersburg, MD 20899 heater legs. A first-order design strategy based on this result is described. Available online: /jres jon.geist@ afridi@ allen.hefner@ 1. Introduction with practical power levels and without significant heating of the die on which it is located. A Complementary Metal-Oxide Se

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