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第卷第期计量学报年月微纳力值计量标准的研究和溯源体系的建立胡刚中国计量科学研究院力学声学所北京摘要微牛纳牛范围力值计量研究是目前国际计量领域的重要研究发展方向总结了美国标准技术研究院英国国家物理实验室德国物理技术研究院韩国标准和科学研究院等研究机构近年来研制的可溯源到的微纳力值标准装置微纳力值传感器参考悬臂梁以及微纳力值溯源方法提出了微纳力值溯源体系的框架为新材料生物微电子等各应用领域微纳力学特性计量量值溯源提供了技术保证关键词计量学微纳力值静电力溯源体系中图分类号文献标识码文章编号力值测量采用
第３２卷 第５期 计 量 学 报 Ｖｏｌ．３２，№５
２０１１年 ９月 ＡＣＴＡ ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ，２０１１
ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１１．０５．１３
微纳力值计量标准的研究和溯源体系的建立
胡 刚
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