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* * * The world leader in serving science * * * * * * * * * * * * * * Prima Pro 培训课程 真空系统 真空系统 为什么我们需要一个真空系统? 离子离开离子源以后被are分析室的气体分子稀释。 一个离子通过一段距离没有被偏转，这个距离被称为: ‘The Mean Free Path’“平均自由路径” 平均自由路径和真空度成反比例。 因此: 真空度越高，离子直线行驶的距离越长 Vacuum System 我们需要多大的真空度? 一个简单的方法说明需要多大的真空，我们可以使用一个常量‘IP’ 值. 这个是 平均自由路径 ‘I’ 和指定气体压力 ‘P’ 的乘机是一个常量。 一般来讲 IP 值为6.0e-5 Metres/mbar. 所以1 mbar 压力下，平均自由路径大概为 6e-5 米. 故 压力1e-5 mbar的时候平均自由路径为6米。 低压(高真空) 情况下，大部分离子不会被分散。 真空系统 如何制造真空? 要到达所需要的真空压力(2.0e-5 mbar) 至少需要2个泵，这是因为没有哪个单独的泵可以从常压抽到需要的真空压力。 第一步: 旋转泵用于提供一级真空，从常压可以抽到1.0e-2 mbar. 第二步: 涡轮分子泵作用到想要的低于2.0e-5 mbar的压力. 真空系统 旋转泵 真空系统 旋转泵 真空系统 Laminated Magnet Collector Assembly Signal Amp. Ion Source Inlet Probe 涡轮分子泵 真空系统 涡轮分子泵 真空系统 专用术语 A ‘高的真空度’ = A ‘低压力’. A ‘低真空度’ = A ‘高压力’. 旋转泵被称为‘初级真空泵 真空系统 真空测量 测量设备是一个‘冷阴极电离’ 设备，被称为‘彭宁计’. 设备可以测量的范围e-3 to e-9 mbar. 真空系统 Prima 真空电路原理图 真空系统 Sentinel 真空电路原理图 * * * The world leader in serving science * * * * * * * * * * * * * * * * * *
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