一种自交联聚合物的合成及其在水显影化学增幅型-影像科学与光化学.PDF

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2017-08-28 发布于天津
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一种自交联聚合物的合成及其在水显影化学增幅型-影像科学与光化学

18 2 Vo1. 18 No. 2 2000 5 PHOT OGRAPHIC SCIENCE AND PHOT OCHEMISTRY May, 2000 研究简报 1 1 1 1* 2 2 陈其道, 陈明, 林天舒, 洪啸吟 , 黄志齐, 胡德甫 ( 11 , 100084; 21 , 100022) 本文引入单体MAGME 合成了具有自交联作用的MAGME苯乙烯和N- (4-羟基苯基) 马来酰亚胺的共聚物, 以该聚合物为基体树脂, 研制了一种新型的水显影化学增幅型负性抗蚀剂, 初步研究了其光刻工艺条件. : 自交联; 水显影; 化学增幅; 负性抗蚀剂 : 1000-3231(2000) 02-0155-05 : O644 : A IBM Willson Ito 1 82 / 0, [ 1] . N-(4-) , , ( HMM M) [2] . , ( methylacrylamidoglycolate methylether, MAGME, 1) , MAGMEN-(4-) ( 2, c) . , . , , . H H H H C C C N #C CO CH 2 2 3 O OCH3 1 MAGME : 1 -05-06; : 1 -06-01 : ( 5 773007) * 155 156 18 1 111 MAGME , KIO , 3 , N, N-. [ 2] . : SHINADZU IR-408 PERKINELMER ( DSC) -340 DGB/ 20-002 125 W . GPC . 112 [3,4] -N-(4-) , MAGMEN-( 4-) . ( CH CH) ( CH CH ) ( CH CH ) 2 x 2 y 2 NH2 O O Ac O N StMAGME C O q O C C O 2 O O+ q