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SEM 样品制备; 对样品要求 样品的预处理 基本制样工具 样品制备;1. 对样品要求;1.正确认识高真空和低真空； 2.判断样品是否导电； 3.判断样品是否可以喷镀； 4.判断样品是镀金或镀碳； 5.对使用加速电压的控制。 ; 真空度 优缺点; SEM样品制备的一般步骤1. 从大的样品上确定取样部位；2. 根据需要，确定采用切割还是自由断裂得到表界面；3. 清洗；4. 包埋打磨、刻蚀、喷金处理。;2. 样品的预处理;3. 基本制样工具;1. 块样 对于金属、岩矿或无机物，切割成要求的尺寸，粘在样品台上。如果样品数量多，注意样品尺寸最好一致。 微区成分分析样品表面应该平坦或经研磨抛光，可以保证检测时几何条件不变。对于样品的断口面，要选择起伏不大的部位，最好是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。;金属或陶瓷样品制备抛光截面 a) 树脂镶嵌 b) 金属夹板;2. 粉样 （1）微米级粉料 * 将粉样撒在样品台的导电胶上，用手指轻弹样品台四周，粉料会均匀地向四周移动，铺平一层，侧置样品台，把多余粉料抖掉； * 用纸边轻刮、轻压粉料面，使粉料与胶面贴实； * 用吸耳球从不同方向吹拂粉料，使粉料牢固、均匀地粘在导电胶上。;（2）对于亚微米或纳米粉料进行成分分析：利用压片机（红外和荧光均使用）压成结实的薄片，然后将薄片用导电胶粘在样品台上。 ;3. 安装 导电样品通常使用碳或铜导电胶粘到样品台上，粘接时要确保底面与胶面贴实。 安装不导电样品可用普通双面胶，并在表面粘一条胶带与金属样品台连通，以备镀膜时形成导电通路。 样品即使导电，也必须与样品台粘牢，若没接触好，会产生样品充电现象，图像不稳定，而且收集能谱也受影响。;若样品不导电，则应决定是否要对样品进行喷镀。喷镀与否主要根据样品观察区域和观察目地而有所区别。因为不导电的样品在扫描电镜下观察时，会产生电荷积累而影响观察稳定性。 一般样品都可以喷镀后观察，被喷射金属的样品，在观察的过程中不但可避免电荷放电、减少电子束对样品的损伤，而且还可增加二次电子产率，获得质量良好的图片。??是有些样品（比如某些生物样品），经过喷镀后会损坏样品表面，而使用者的观察目的就是样品的表面微观结构。在这种情况下，只能选择不溅镀样品。;喷碳: 喷金的样品虽然具有较多的优点，但是却不适合在能谱下进行观察。传统的能谱可以分析钠以上的元素，因而喷金后金元素的存在会影响能谱的正确分析，而喷碳的样品则不存在这个问题。 ;常用 Au、Pt 、 Au-Pd或 C 膜层厚度： 20 ~ 50 nm ;Thank you !