2005年版-螺杆真空泵.DOCVIP

2005 年版 HLG型螺杆式干泵 维修 保养说明 上海沪岑工业设备有限公司 1 安全事宜特别说明 在干泵不使用，也就是停机以后维修保 养、检查的时候，必须却断电源。 未镀层的干泵不能抽除含有腐蚀性/粘性 的气体。 2 一，概述 LG 螺杆式真空泵属于干泵系列产品，是螺杆型干式真空泵（简称螺杆式干真空泵）。干式螺杆真空泵， 属于非接触型干式泵，是 20 世纪中叶出现的一种理想的泵种，其主要特点是：运行可靠，寿命长；动平衡 性好；适用性强，可抽除含有粉尘和可凝性气体；操作维护方便。同时易回收抽除气体。并以其抽速范围 宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点，日益成为微电子、半导体、 制药、精细化工、精密加工、真空应用设备等行业首选真空获得设备， 二，结构 ◆ LG 螺杆式真空泵工作原理 此泵属于容积泵，其工作循环可分吸气、压缩和排气三阶段。随着螺杆的相向转动，相继完成吸气、压 缩和排气三阶段工作循环。 螺杆式干泵结构 干式螺杆真空泵，主要由螺杆转子、壳体、齿轮、轴承、冷却循环和密封件构成。电机通过联轴器连 接主动螺杆，通过高精度的同步齿轮带动从动螺杆旋转。从电机端看主动螺杆是顺时针方向旋转为正确。  前轴承  进气端盖 前轴封  泵体从动螺杆 主动螺杆  后轴封 轴套  排气端盖 后轴承 主动齿轮 从动齿轮 电动机  图一  干式螺杆真空泵结构。  以泵体两端端盖内的四个轴承和壳体内部通过特殊结构的密封件（有机械密封和唇形密封，迷宫密封 等）来密封，以达到泵内无油的效果。 一对旋向相反的螺杆，泵的两端盖的四个轴承支承旋向相反的螺杆，被抽气体通过气体吸入、压缩、 排气三个过程，达到抽气的目的 1， 螺杆：为此泵最主要的部件，本螺杆为等距结构。 2，齿轮：为同步齿轮，是螺杆真空泵的最主要的部分之一。 3 3，轴承：固定端采用的是滚珠轴承，伸缩端采用的是滚柱轴承。前后四个轴承能够承受较高的转速和负载。 4，轴封：螺杆泵内部轴封采用的是双唇型骨架油封，可有效阻止泵体和泵体外之间气体的双向相互窜流， 保持泵内的无油状态。传动轴采用骨架油封密封。 5，油标：此泵有前后两个油标，分别被放置在前后盖上，一般情况下油位应保持在 1/2 位置上为宜。运行 时须保持适量的真空泵油，如果油量过低，齿轮、轴承会因为缺少适当的润滑油而受到损伤。所以当泵 不运转时，一定要检查油的高度和有无污染物，然后重新补充油或更换新油。润滑油被旋转的同步齿轮 甩起为轴承和密封润滑。 三，安装 正确的安装对干泵的运行有密切的关联。因此要求： 1， 必须固定在水泥地上，或厚度超过 80mm 的钢板（钢板的面积必须超过 2000*2000mm 以上）上，用适 合的螺钉紧固，不能有丝毫松动。 2， 干泵的吸入口和被抽容器的连接管道必须是软性管道，或不锈钢波纹管，或真空橡胶管等，长度要求 在 500mm 左右或以上。让软性管道部分吸收由干泵产生的振动，不对被抽容器产生影响。 3， 必须在干泵的吸入口处安装一个阀门，阀门的启闭和干泵的开机、停机同步。 4， 图二和图三是干泵正确的安装法，阀门 V 是放液用。  进 气  消音器 图二  排 气  进 气  消音器 图三  四、运行、维修保养操作 1，运行 a) 由于干泵的调试结构，一般情况下干泵可以达到从 0～-0.1MPa 之间任何的真空度。如果要控制在一定 的真空度时，必须配置一个压力传感器，控制在需要的真空度区间内。 b) 定时检查油位，保持泵内有一定量的真空泵油。 c) 定时检查油窗内的真空泵油是否干净，乳化了应马上更换真空泵油。 d) 清洗泵内。可能被抽气体含有少量粉尘。少量粘性物，可对其进行清洗或称冲洗。操作办法： ①此工作必须在不运行时。 4 ②按图四 ③关闭 V2 阀门，启动干泵 ④V3 阀门可接蒸汽源 ⑤干泵启动、V2 阀门关闭后，打开 V3、V1 阀门，对运行中的干泵冲蒸汽，其量的大小须视情况决定。 ⑥时间一般在 30 分钟到 1 个小时左右。 ⑦停止冲蒸汽以后，关闭 V3 阀门，干泵继续运行，迫使泵内的水份完全甩干，防止泵内锈蚀。 进 气 排 气 消音器 图四 2，运转  1.4.1  作为真空泵使用时，运转中的各项数据正常，对泵保护有很重要。  a) b)  由于干泵的特殊结构，其运转以后的电流和机械泵、罗茨泵等不一样。 在极限压力情况下，电流会大，属正常情况，达到电机功率的 2 倍安培。在同大气情况下会小也属正  常情况，达到电机正常的安培左右。 c) 观察冷却水排放时的温度。 3，保养 ㈠ 净化和清洗 净化和清洗处理，是为了除去在压缩过程中残留在泵内的气体和压缩蒸汽。当泵重新启动时，这些残 余物质有可能导致电机过载，这些物质可能产生过