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气敏元件室温光激发气敏性能研究 study on gas sensing properties of gas sensor enhanced by light at room temperature
第27卷第2期 电 子 元 件 与 材 料 、,01.27No.2
2008年2月 ELECTRoNICCoMPONENTSANDMATERIALS Feb.2008
气敏元件室温光激发气敏性能研究
桂阳海,张 勇,王焕新,徐甲强,李超
(郑州轻工业学院河南省表界面科学重点实验室,河南郑州 450002)
摘要:研究了w03掺杂的zno基气敏元件在紫外(uV)光激发下,对乙醇气体的室温气敏性能。结果表明:在
uv光照射下,各元件在室温下对体积分数为100×10_6的乙醇气体显示了很好的光敏、气敏性能,响应、恢复时间均
在8s以内,其中以掺杂x(w03)为l%的元件w(1)为最佳,从而实现了室温下的气敏测试。
关键词:无机非金属材料;氧化锌;氧化钨;气敏元件;室温;uV光
中图分类号:TP212.2;1Q174.75文献标识码:A
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light temperature
GUI Huan-xin,xu Chao
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(Henan KeyLabomtory Science,zhengzhouUniVersityLightIndusⅡyZh朗gzhou
450002,Cllina)
enhancedethanol of Zn0sensorsatroom were
Abstract:UV
light sensingpropertiesW03-doped tempemtIlre
matanthesensorshaveexcellent sensitiVe 100×10_oofemanol
resultsshow opto—and—gas pmper哆to V印or
investigated.The
underttleUV activation atroom are timewithjn8sforaU
rapidresponse柚drecovefy
li曲t simultaneouslytempemture.There
andthesensor mebest tllis
mesensors fraction)show
w(1)withdoping1%w03(population gassensingpmpen)r.Using
testatroom canbeacllieVed.
memod,the temperature
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