脉冲电泳沉积制备电致变色wo3薄膜 preparation of electrochromic wo3 films by pulsed electrophoretic deposition.pdfVIP

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脉冲电泳沉积制备电致变色wo3薄膜 preparation of electrochromic wo3 films by pulsed electrophoretic deposition

第30卷第2期 电 子 元 件 与 材 料 VoI.30No.2 201 AND Feb.201l 1年2月 ELECTRONICCOMPoNENTSMATERIALS 脉冲电泳沉积制备电致变色W03薄膜 蓝满玉1,王晨L2,汪炜2 摘要:采用正交设计法优化了脉冲电泳沉积制备W03薄膜的工艺参数,并通过分析薄膜的微观结构.透射光 谱和循环伏安曲线等研究了最佳工艺条件下制备的W03薄膜的电致变色性能.结果表明,脉冲电泳沉积制备W03 ms.最佳工艺条 薄膜的最佳工艺参数为平均电流密度O.2x10-3A/cm2,沉积时间6min,占空比75%,脉冲周期10 件下制备的W03薄膜厚度约为25l nm。呈非晶态;在可见光区_(550--800nm),光调制幅度(△r)可迭7@扣80%;表 现出良好的电化学活性,离子存储能力达27.8×l旷’C/cm2;看色/褪色响应不对称,可逆性稍低(75.1%). 关键词:脉冲电泳沉积·9W03薄膜;电致变色;正交设计 中图分类号:0484;TB381文献标识码:A 文章编号:1001.2028(2011)02.0043..04 ofelectrochromicfilms Preparation W03 bypulsed electrophoreticdeposition Wei2 LAN Chen¨,WANG Manyul,WANG and ofMaterialsScience ofSurface (1.College Engineering,FuzhouUniversity,Fuzhou350108,China;2.Institute Nanotechnology,FuzhouUniversity.Fuzhou350108,China) Abstract:The forthe of filmswere processparametersemployedpulsed depositionW03 by electrophoretic optimized the method.Theelectrochromicofthefilms underthe conditionwere orthogonaldesign W03 optimized properties prepared studied themicrostructure.transmissionand ofthefilms.The through voltammogram characterizing spectracyclic optimal

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