滤光片对三角位移传感器测量误差的影响 influnce of filter on measure error of displacement sensor.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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滤光片对三角位移传感器测量误差的影响 influnce of filter on measure error of displacement sensor

第28卷第11期孵爿却慰《黧篡磊釜__—一 Y21：垫塑旦：!!■●—髓磁蟹翻盔篮圆黼黼避文章编号：1007一1180(2011)1l—0089一03 滤光片对三角位移传感器测量误差的影响朱万彬 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春130033) 摘要：为了提高激光位移传感器接收系统的信噪比，往往在CCD或PSD接收器前加滤光片。但是，滤光片对接收光线的折射作用将引起测量误差，而且该误差是非线性的，对于高精度位移传感器来说，这个误差是不可忽略的。设计了一种补偿方法，实验表明该方法可行。关键词：平行平板：非线性补偿中图分类号：TN253 文献标识码：A 1．0089 DOI：10．3788／OMEl2011281 lnfIunceOfF¨teronMeasureErrorOf Sensor DispIacement ZHUWan_bin 0p￡幻s，如帆舻^Ⅱn胁疵M把0，Dp如s，尼聊讹c^帆泌帆dm弘泌， @磁e‰yz曲。艇ory旷App协d 吼i耻seAcn如w旷＆施聊es，观彻酽^“凡130033，吼i删 to tonoiseratio0fthelaser often Abstract：Inorder receivingsystems逗nal displacementsensor，people impmve will receiverfilterinfrontofCCDorPsD．Butthefilterfor refractioncausemeasurement place receiVinglight error， notbe sensor．Wea theen-oris can non-linear，and displacement design ignoredbyhigh—pIecision compensation forthis measureen．oLThe showthatthemethodisfeasible． method non—linear experiments KeywOrds：parallelplate；nonlinearcompensation ，引言喜喜萎矍紧萎叠会!萎蕃篆磊：i?雾喜墨詈轰嘉三角法测量是一种古老而简单的测量方法，早丈量土地等。但是，由于测量较为粗糙，精度通常 J号裟≮爿璺皇 1 Nov．201 L_二二—————一万方数据 _——·———爨墓§燃，皋湖第28卷第1l期 ■——■豳盈麴髓盔盘曩■豳豳