两种不同照明方式的三维轮廓检测分析 analysis of 3-d profilometry with two different illuminative modes.pdfVIP

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两种不同照明方式的三维轮廓检测分析 analysis of 3-d profilometry with two different illuminative modes

光电子·激光 第 卷第 期 年 月 * Vol.17 No.6 Jun.2006 17 6 2006 6 JOurnalO O tOelectrOnics Laser f p % 两种不同照明方式的三维轮廓检测分析% % % 焦春妍 !陈希慧 ( 昆明理工大学9云南昆明 650093) 摘要2根据标量衍射理论9首先讨论了两平面波干涉场的空间分布与平行投影正弦光栅的等价性o 然 后9基于几何光学分析9讨论物体轮廓对平行投影及发散投影结构光场调制问题9导出与这两种照明方 式相适应的高度公式o 最后9通过测量的理论模拟对所导出公式的可行性作出证明o 关键词2信息光学S 光学检测S 三维轮廓检测 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! ( ) 0438 A 1005-0086 2006 06-0709-05 Anal sisof 3-D profilometr with two Different illuminative Modesy y % % JIA0 Chun- any 9 CHEN Xi-hui ( 9 9 9 ) school of science Kunmin Universit of science and technolo h Kunmin 650093 China g y g g 2 9 9 Abstract Accordin to the theor of scalar diffraction first the e ui ollence of s atial dis- 9 y C P P tribution of the lane-wave interferential field and arallel roective sine ratin is dis- P P

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