亚波长设计中的可制造性验证方法 method of verification for manufacturing in sub-wavelength design.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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亚波长设计中的可制造性验证方法 method of verification for manufacturing in sub-wavelength design.pdf

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亚波长设计中的可制造性验证方法 method of verification for manufacturing in sub-wavelength design

第卷第期半导体学报 Z7 5 Vol.Z7 No.5 年月 9 Z006 5 CHINESEJOURNAL OF SEMICONDUCTORS Ma Z006y Method of Verification for Manufacturing in Sub-wavelen th Desi ng g % Wan Guoxion and Yan XiaolanT g g g ( 9 9 9 ) InstituteO VLSI Desi n Zhe ian Uniuersit ~an zhOu 3100Z7 China f g j g S g 2 Abstract We describe a ost resolution-enhancement-techni ue verification method for use in manufacturin P ] g data floW.The oal of the method is to verif Whether desi ns function as intended9 9 g y g or more recisel Whether P y the rinted ima es are consistent With the desi n intent.The rocess modelin is described for the model-based P g g P g verification method.The erformance of the method is demonstrated b eX eriment. P y P 2