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微型化矩形振子近似行波型直线超声波电动机 quasi-traveling wave ultrasonic linear motor using a miniature rectangular vibrator

幼译计兮新∥. 儆持电棚 2012年第40卷第2期 ?……c,∥舒4缈d》z露,d》z卣%季础…一………………一……………………一……………-·二………………………………… 微型化矩形振子近似行波型直线超声波电动机 张顺鑫,李朝东 (上海大学,上海200072) mmx6mmX 摘要:探索了在微型直线超声波电动机中实现近似行波驱动的途径,研制了一种外形尺寸为39 12.7 mm的环状矩形振子近似行波型直线超声波电动机。结合电机振子的有限元模态分析,阐述了依靠激发空间 相位差为900的两个正交弯曲振动模态,实现行波在环状矩形振子上被激发和传播的电机运动原理。使用7块压 电陶瓷片来分别激发振子的两个工作模态。在振子底部设计了梳齿状结构,以放大振幅。利用有限元法进行结构 设计,使两个工作模态的频率简并。通过激光测振,证实了电机振子设计方案的有效性。通过对实际样机的驱动 kHz和160V峰峰 齿旋向测试,初步证实近似行波的形成及传播的存在。初步的样机特性实验表明:在频率为66 N。该电机初步达到设计目标。 电压激励下,电机最大速度为162.5mm/s,最大预压力负载为8.5 关键词:直线超声波电动机;近似行波;微电机;压电;耦合振动 中图分类号:TM359.9 文献标识码:A 文章编号:1004-7018【2012)02—0018-04 LinearMotor aMiniature Vibrator WaveUltrasonic Rectangular Quasi-Traveling Using ZHANG Shatl,一xin.LI Chao—dong 200072,China) (ShanghaiUniversity,Shanghai theaimof wavedriveinultrasoniclinear novel Abstract:With micromotor,a realizingquasi-traveling quasi-traveling with mmxl2.7mmwas waveultrasoniclinearmotor a vibratorthesizeof39mmx6 rectangular

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