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微小尺寸零件表面缺陷光学检测方法 optical inspection method for surface defects of micro-components

第32卷第7期 兵 工 学 报 V01.32No.7 2Ol 1年7月 ACTAARMAMENTARII Jul. 2011 微小尺寸零件表面缺陷光学检测方法 李晓舟1,于化东1,于占江1,刘岩1,许金凯1’2 (1.长春理工大学机电工程学院,吉林长春130022; 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033) 摘要:为实现微小尺寸零件表面缺陷的快速精确检验,对微小尺寸零件表面缺陷光学检测技 术进行了研究。以典型微小尺寸环形零件为研究对象,从零件的表面特征、缺陷类型及检测算法出 发,建立了基于机器视觉的微小尺寸零件表面缺陷光学检测系统;通过对微小尺寸环形零件表面缺 陷纹理特征研究,提出图像梯度方差加权信息熵算法抑制表面随机纹理,提取微观表面缺陷,进行 微小尺寸零件缺陷的检测。实验结果表明:该检测算法能够快速有效地进行微小尺寸零件表面缺 陷的识别与检测,缺陷识别率达96.5%.实验验证了理论分析及表面缺陷检测算法的正确性,可用 于微小尺寸零件表面缺陷的精确检验。 关键词:信息处理技术;微小尺寸零件;表面缺陷检测;图像识别;机器视觉 中图分类号:TP391.4文献标志码:A for of MethodSurfaceDefects OpticalInspection LI Jin—kail·2 Xiao.zhoul,YUHua.don91,YU Yanl,XU Zhang-jian91,LIU ofMechanicalandElectric8l ofScienceand (1.School Univer暑ity Engineering,Changchun Technology, l Instituteof MechanicBand Changchun30022,Jilin,China;2.Changchun 0ptics,Fine Phy8ics, Chine8e of l AcademyScience8.Changchun30033,Jilin,China) for of ordertorealizethe detectionsu而cedefects AbStraCt:In rapidprecise micro—components,theop一 “caldetection wasstudied. a micro as and technology Taking componentobjectconsidering typical ring itssu—.acefeaturesanddefect an detectionwasestablishedonthebasisof characteris“cs,optical system machinevisionand

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