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MEMS磁芯螺线管微电感的制作工艺研究
第 卷 第 期 固体电子学研究与进展
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年 月
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微电子机械系统与传感器
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磁芯螺线管微电感的制作工艺研究
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高孝裕 周 勇 雷 冲 陈吉安 倪智平 毛海平 王志民
上海交通大学微纳科学技术研究院 微米 纳米加工技术国家重点实验室
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薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海
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收稿 收改稿
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摘要 采用微机电系统 技术制作了磁芯螺线管微电感 该技术包括 干法刻蚀技术 抛光
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和电镀技术等 研制的微电感大小为 线圈匝数为 匝 宽度为 线圈之间的
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间隙为 高深宽比为 测试结果表明 在 频率下 其电感量为 值为
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关键词 微电感 电感量 品质因子 微机电系统
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中图分类号2 .. 文献标识码2 文章编号20+++/,10A’*++.-+B/.0,/+B
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