真空镀膜连续生产线的工作原理及故障分析.pdfVIP

学术 真空镀膜连续生产线的工作原理 及故障分析 牛星月 摘耍 ： 随着科技的发展 ，光电技术的应用已经深入到各行各业。光电技术应用的必需设备是真空镀膜机。真空镀膜机已经由最初的复杂化 ：手动 化发展到现在的简单化 ；智能化。真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛应用的设备 ，是目前应用电子技术蒸发获得真空条件 最为广泛的设备。本文主要论述7真空镀膜机器连续生产的工作原理及故障分析。 1．真空镀膜机的简介 打火的瞬间，高压线会被短路 ，电子枪就不能 的原因，而是真空室 内有污染，因为设备使用 真空镀膜机有三种形式 ：蒸发镀膜、溅射 正常的工作 了，但是 由于 自动复位 电路的作用， 了很多年，钟罩内壁上聚集了许多蒸镀的材料 。 镀膜和离子镀 。 高压线会在4O秒内切断高压的输出，然后又在 在有束流的情况下 ，会产生二次、三次电子 ， 1．1．蒸发镀膜 5O秒之后恢复高压输出，这个瞬变的过程就是 从而产生较大的假束流 ，使得主开关管不停的 蒸发镀膜通过对某种物质进行加热蒸发使 自动复位的过程 ，这是保证电子枪连续正常工 导通和截止 ，高压指示就不稳定了。消除这种 这种物质再沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。 作的必要条件 ，这也是真空镀膜机连续生产的 故障 ，可先将电子枪、坩锅、高压电极进行彻 蒸发物质可以是金属、化合物等 ，把这些物质 基本原理。 底地清洗 ，如味故障还没有补消除，再将钟罩 放在坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，等镀工 3．真空镀膜机的故障现象分析及排除 内所有的器件和钟罩内壁进行彻底 的清洗 ，故 件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前， 在实际使用的过程中，真空镀膜机就出现 障就会被消除，高压指示就不会在频繁的摆动 系统抽至高真空后，加热坩埚使当中的物质蒸 过不少故障，其 中高压 电源部分的故障较多， 了。 发。 也比较复杂 ，下面就几种典型的故障进行分析。 3．3．故障排查方法 I．2．溅射镀膜 3．1．增加 电子束流时，高压没有指示 用高压表测量高压的部分输出的电压 ，电 溅射镀膜是用高能粒子轰击 固体表面，使 真空镀膜机在正常工作的时候 ，设备的主 压为 +6kV(或者+lOkV)，指示很稳定 ，说 明高 固体表面的粒子能够获得能量并且逸出表面， 开关电路 中的开关管处于饱和 的导通状态 ，当 压部分的器件没有什么问题。为了判断 自动复 最后沉积在基片上。一般把沉积 的材料制成板 管压下降保持在 IOOV左右的时候 ，栅极得到正 位部分的主开关 电路是否正常 ，可 以采取替换 材靶 ，固定在阴极上，基片放在正对靶面 的阳 偏压 50V，高压指示6kV(或 lOkV)。从检测电路 的方法或者其它的方法来进行判断 ，假如还是 极上 ，但是票距靶几厘米，不能太近。当系统 上得到的电压控制信号不足以使稳压管击穿导 不正常的话 ，说明自动复位部分中的电流检测 抽到高真空后，充入一定量的气体 (一般为氩 通。在不正常的情况下 ，增加束流时 ，由于束 电路、栅压切换 电路存在 问题。在对 同类型的 气)，在阴极和阳极之 间加上几千伏 的电压， 斑的位置不在中心 ，电子束可能会打到坩埚的 设备进行检查时，也发现了同样的故障，这就 那么两极之 间就会产生辉光放电。放电产生的 边缘 ，或者束斑 的位置在中心 ，但蒸镀 的材料 能说明真空镀膜机在出厂 的时候就存在着故障 正离子在 电场的作用下飞 向阴极，与靶表面的 被打穿等原因 ，都会出现高压无指示。这是 由 隐患 ，所以就必须采取相应的办法来进行处理 ， 原子发生一定的碰撞，受到碰撞后，从靶面逸 于高压输 出被近似短路 ，造成 电子束流大于预 消除故障，使高压指示恢复正常。 出的靶原子称为溅射原子 ，它的能量在一至几