一种新型二次离子质谱的一次离子源及其离子光学系统-分析化学.PDFVIP

第 卷 分 析化学 （ ） 仪器 装置与 实验技术 第 期 ３９ ＦＥＮＸＩＨＵＡＸＵＥ １０ 　 　 年 月 　　　　　　　 　　　　　　　 ２０１１ １０ ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＡｎａｌ ｔｉｃａｌＣｈｅｍｉｓｔｒ １５０１ １５０５ 　 　 　 ｙ 　 ｙ ～ ： ／ ＤＯＩ １０．３７２４ＳＰ．Ｊ．１０９６．２０１１．０１５０１ 一种新型 二次离子质谱的一次离子源及其离子光学系统 徐福兴 王 亮 罗 婵 丁传凡＊ 　 　 　 （ ， ） 复旦 大学化学 系激 光化学研究 所 上海 ２００４３３ 摘 要 本 研究 设计 了一种新型用 于 二 次 离 子 质 谱 的 一 次 离 子 源 及 其 离 子 光 学 系 统 。通 过 此 一 次 离 子 源 ， 　 　 、 大气压 下 产生 的一次 离子 可 以被 加 速 聚 焦并 传 输 到 位 于 真 空 条 件 下 的 样 品表 面 并 电 离 样 品得 到 可 供 质 谱 仪 分 析的 二次 离子 。通 过 理论模 拟结 合 实验 系统研究了 此 一次 离子源的 主要 组 成 部 分——— 离子光学 系 统 的 、 。 ， 、 原 理 结 构 和性能 以 电喷雾 电 离 源 为 例 成 功 地 将 大 气 压 下 产 生 的溶 菌 酶 离 子 加 速 聚 焦 并 传 输 到 位 于 －５ 　 。 ： １×１０ Ｔｏｒｒ真空下 的样 品表面 实验结果 表 明 此 一 次 离 子 源 可 有 效 拓 展 二 次 离 子 质 谱 中 一 次离 子 的 种 类 和范围 。 ； ； ； 关键词 二次 离子质谱 一次 离子源 电喷雾 电离 离子光学 系统 　 １ 引 言 　 　 （ ， ） 二次 离子质谱 Ｓｅｃｏｎｄａｒ ｉｏｎｍａｓｓｓｅｃｔｒｏｍｅｔｒ ＳＩＭＳ 是 目前灵敏 度最 高 的表面化学分 析的 手 ｙ 　 　 ｐ ｙ 　 －９ 。 ， 、 ， 段 之一 它具 有 １０ 量 级 的灵敏 度 能分析几 乎 所 有的 导 体 半 导 体 和绝 缘 体材料 甚 至 还 可 以检测 ［ ］ １ ３ ～