化学气相沉积犜犻犆荦／犜犻犆／犃犾多层涂层的-材料与测试网.PDF

年 月 第 卷 第 期 ２０１４ ２ ３８ ２ 犞狅犾．３８犖狅．２犉犲犫．２０１４ 　 化学气相沉积 （ ）／ ／ 犜犻犆犖 犜犻犆犃犾犗 ２ ３ 多层涂层的结构和耐磨性能 张进，薛 屺，秦 曾，辛 荣 （西南石油大学材料科学与工程学院，成都 ６１０５００） 摘 要：采用化学气相沉积技术在 钢基体表面制备了 （ ）／ ／ 多层涂层， ４２ＣｒＭｏ ＴｉＣＮ ＴｉＣＡｌＯ 　 ２ ３ 分析了多层涂层的断面形貌、元素分布和物相组成，并研究了多层涂层的显微硬度及其与基体的界 面结合力、耐磨性能。结果表明： （ ）／ ／ 多层涂层的结构较致密，主要由 、 ＴｉＣＮ ＴｉＣＡｌＯ ＴｉＣ Ｎ ２ ３ ０．２ ０．８ 、 和 组成，厚度约 ，其显微硬度约 ，涂层与基体间的界面结合力 ＴｉＣ ＡｌＯ ＴｉＯ １０ ｍ ２６５４ＨＶ α ２ ３ ２ ３ μ 可达６２Ｎ；与基体相比，多层涂层的平均摩擦因数约降低了２３％，磨损量约减少了５０％，其磨损机 制为疲劳磨损和磨粒磨损。 关键词： （ ）／ ／ 多层涂层；化学气相沉积；摩擦磨损 ＴｉＣＮ ＴｉＣＡｌＯ ２ ３ 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＢ４３ Ａ １０００３７３８２０１４０２００７６０６ 　　　 　　　 （ ）／ ／ 犕犻犮狉狅狊狋狉狌犮狋狌狉犲犪狀犱犠犲犪狉犚犲狊犻狊狋犪狀犮犲狅犳犜犻犆犖 犜犻犆犃犾犗 犕狌犾狋犻犾犪犲狉 ２ ３ 狔 犆狅犪狋犻狀 犘狉犲犪狉犲犱犫犆犺犲犿犻犮犪犾犞犪狅狉犇犲狅狊犻狋犻狅狀 犵 狆 狔 狆 狆 ， ， ， 犣犎犃犖犌犑犻狀 犡犝犈 犻 犐犖犣犲狀 犡犐犖犚狅狀 犙 犙 犵 犵 （ ， ， ， ） ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＳｏｕｔｈｗｅｓｔＰｅｔｒｏｌｅｕｍＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｃｈｅｎｄ