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洁净与空调技术 年第 期 !!#! $%% ’ 工程实例 · · CL 中国电子工程设计院 郝 佳! 摘 要 微电子工业迅猛发展，本文以一个典型的 厂房为实例，介绍几种洁净设计方式，并从 ! 投资、施工、运行等方面进行分析比较。 关键词 ! 厂房 洁净级别 温湿度 风机过滤器单元 !#$%’(#)% * +%,-*$).% %/ !+ 0*1 +23* 45.#3, 62*. ! #$% ’( !#$%’$ #$%’() *+,-$./0/,1-$2+, +2’3)1-( ’/4/0$5 -5+’0(62’ 17+) -1+,0/ +21-$’3,/) )$*/ 8+2’) $9 ,0/2+2: ’/)+:2 *$’/) ;)/’ $2 1(5+,0 ! ; ) /=*50/6 20()/) 2’ ,$*5-/) +1 +2 +24/)1*/216 ,$2)1-3,1+$26 $5/-1+$26 /1, ()*+,%-# ! ; 0/20+2/)) ?/*5/-13-/ @ A3*+’+1( B !()*+ ,-./012*)/3 ,*4)*..1)*4 5.3)4* 6*30)070. 8 引言 近年来，微电子工业迅猛发展，已成为世界 技术进步的主要支柱，并且随着技术水平的提高， 对生产环境的洁净度要求也随之提高。我院在这 几年做过多个! 厂房的设计工作，现以一个具有 代表性的工程为实例，对洁净系统设计方案做简 要介绍。 该公司自筹资金建立集成电路芯片生产线， 生产 C 吋硅片 DEEE 片，工艺技术水平达到 区域为预留工艺区，楼板下沉CEE** ，架设回风 FE!* 。GEEE 年开始实施时资金非常紧张，目标 隔栅地板； 区域为普通净化生产区。GEEE 年主 就是要用最少的钱把项目运转起来。在随后的三 体结构全部做好，内部根据需要逐步实施。# 区域为一期实施区， 区域也是一期实施，现在 年内，随着该公司生产步入正轨，逐步增加工艺 设备，扩大生产规模，对厂房进行多次改造，所 正在进行改造，$% 区域为二期实施区域。 以在一个厂房内包含多种洁净方式。 $ 洁净系统方案介绍 主厂房的一侧为办公区，共三层：一层为大 五个区域净化方式各不相同，下面分别进行 厅、一次更衣室等，二层为洁净更衣室、洁净服 介绍： 清洗等洁净厂房的辅助房间，三层为办公区；主 厂房另一侧为工艺生产区，根据生产工艺及建设 郝佳，女， 年 月生，大学，工程师 ! FHIG FG 期不同可分为五个区域，下图为该厂房平面的简 FEEEJKE 北京LEI 信箱公用设备所 单区划。 （ ） E FE