F6000系列-炜盛科技.PDF

F2000 系列 皮拉尼真空传感器 产品描述 炜盛 的F2000系列MEMS皮拉尼真空传感器提供了 一个突破性的真空测量方案。该传感器外形微小，同 时又具有超低功耗，长寿命，低现场维护，和低成本 的优点。 依据 “气体热导系数与低真空范围压力成正比”的原 理，炜盛真空传感器测量加热元件上由于传热到周围的 气体而导致的细微的电阻变化。 技术特点 该加热元件（即测量电阻）是由一个置于一张隔热膜 超低功耗5毫瓦 上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的 快速响应时间5毫秒 25祄深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以确保 耐冲击至1000g 精密测量传热率。由于被测气体体积极小（即空腔容 可测量气体体积最低至0.1 cm3 积小），炜盛传感器能够提供超低的功耗和快速的 低噪声 响应时间。 高分辨率 同一芯片上进行温度传感 炜盛真空传感器还提供了 长期稳定 一个与测量电阻具有相 可用溶剂浸泡清洗，延长使用寿命 同电阻温度系数（TCR） 实际应用 的基准电阻，布置在传  分析仪器 感器芯片基板上。传感  使用前级真空的封闭系统的检漏 器电路可用它来进行环  半导体设备 境温度补偿。  真空包装机  便携式数字真空计  小型机械系统（如泵）以达到规定的真空度 由于具有可靠性高，成本低，使用简便和超低功耗的  低成本真空开关来验证1托以下的真空度 逐项优点，采用MEMS工艺加工的，微型化的皮拉尼技 *术正在成为一个行业标准。炜盛的 F6000 系列 MEMS皮拉尼真空传感器可以帮助客户充分利用这一趋 绝对最大指标 势，以改善其现有的产品和开发新的产品。  工作温度：-40 C至125 C （可提供更高温度型号）  湿度：0到100％RH，非冷凝  耐冲击性：1000g  超压：27.5 Bar 输出电压与真空的关系 加热电流 =6毫安 温度 =25℃ 测量电阻= 156欧姆 封装尺寸 TO5 封装 装配朝向 建议该传感器安装时，网状开口朝下。尽量减少 芯片和TO5外壳之间的热对流，以达到最佳的 量精度。 订购信息 零件编号 规格 郑州炜盛电子科技有限公司 地址: 郑州市高新技术开发区金梭路299 号 F2001 10-3 至 30 托;TO5 金属罐封装 邮编:450001 F2002