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宽禁带半导体关键设备技术及发展 a review on wide band-gap semiconductor key-equipment technologies and development
宽禁带半导体关键设备技术及发展
颜秀文,武祥
1
(中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙41011)
摘 要:宽禁带半导体设备技术是宽禁带半导体器件的支撑和重要基础。简要介绍了宽禁带半
导体器件发展面临的设备问题.重点介绍了碳化硅晶体生长炉、碳化硅外延生长炉、碳化硅离子
注入机和氮化镓MOCVD四种制约我国宽禁带半导体器件技术发展的关键设备,指出了宽禁带
半导体设备技术的未来发展趋势。
关键词:宽禁带半导体;碳化硅;氮化镓;离子注入机;关键设备
中图分类号:TN305 文献标识码:A
AReviewonWide Semiconductor
Band-Gap
and
TechnologiesDevelopment
YANXiuwen.WU
Xiang
41 11
48mResearchInstituteof 0
(The 1,China)
CETC,Changsha
band semiconductor are the of
Abstract:Wide
gap equipmenttechnologiessupporteddevelopments
are aboutwideband semiconductor
Widebanddevices.The introduced equipment
gap problems gap
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technologiespaperbriefly.Key-equipments crystalgrowth
carbide fumace,siliconcarbideion and nitride
fumace,silicon
epitaxialgrowth implantergallium
MOCVD,whichis inwidebandsemiconductordevices inour
restricting gap technologydevelopment
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thefuture.
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