- 1、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
[ 2 ] J . A. Yeazell and C. R. Stroud. J r , Phys . Rev . L et t . , 60 [ 10 ] M. Nauenberg , Phys . Rev . A , 40 ( 1989) ,1133.
( 1988) , 1494. [ 11 ] E. Schrdinger ,Letters on Wave Mechanics ,edit . by
[ 3 ] M. Nauenberg ,C. Stroud ,J . Yeazell , S ci . A m . , 270 K. Prizibram ,Phil. Lib. , ( 1967) .
( 1993) ,6. [ 12 ] M. M. Nieto and L . M. Simmons. J r. , Phys . Rev . L et t . ,
[ 4 ] M. Mallalieu and C. R. Stroud , Phys . Rev . A , 49 ( 1994) , 41 ( 1977) , 207 ; Phys . Rev . A , 19 ( 1979) , 438 ; Phys .
2329. Rev . D , 20 ( 1979) ,1342.
[ 5 ] C. Gerry , Phys . Rev . A , 33 ( 1986) ,6. [ 13 ] W. Pauli ,Pauli Lectures on Physics , The MIT Press ,
[ 6 ] C. Gerry and J . Kiefer , Phys . Rev . A , 37 ( 1988) ,665. ( 1973) .
[ 7 ] E. D. Prunele ′, Phys . Rev . A , 42 ( 1990) ,2542. [ 14 ] C. W. Misner et al. , Gravitation ,Freeman , ( 1973) ,648.
[ 8 ] P. Kustaanheimo and E. Stiefel , J . Rei ne A ngew . M at h , [ 15 ] H. Goldstein ,Clssical Mechanics ,AddisonWesley ,
218 ( 1965) ,204. ( 1980) ,98 ,124.
[ 9 ] B. R.Johnson , Phys . Rev . A , 35 ( 1987) ,1412.
电子回旋共振等离子体技术
丁振峰 邬钦崇 任兆杏
( 中国科学院等离子体物理研究所,合肥 230031)
摘 要 微波电子回旋共振是一种先进的低温等离子体技术 ,它具有优良的综合指标 ,提高了
微电子、光电子集成电路制造工艺等应用领域中的低温等离子体加工水平. 文章介绍了电子回旋共
振等离子体产生原理、特点及重要的实验研究结果.
关键词 电子回旋共振,高密度等离子体源 ,微波传输、吸收
在低温等离子体技术的发展过程中 ,早期
( )
的直流和始于 60 年代中期的射频 13. 56MHz 1 ECR 等离子体的产生及特点
等离子体在应用工艺中发挥了十分重要的作
用. 但是 ,直流等离子体为有极放电 ,运行气压 1 . 1 微波电子回旋共振原理
高且密度低 , 电离率和粒子活性低; 虽然射频放 在稳
您可能关注的文档
最近下载
- 2025广西公需科目培训考试答案(90分)——“一区两地一园一通道”建设;人工智能时代的机遇与挑战(1).pdf VIP
- 报刊客户的营销方案(3篇).docx VIP
- 纺织企业(印染厂)全套组织架构、部门岗位职能设计及全套企业管理制度汇编(拿来即用).docx
- 电网物资质量检测能力评价导则(试行).docx
- 贵州省教科院贵州省教育学会教学设计论文评选结果.docx VIP
- 中石化三井化学7.5万吨年三元乙丙橡胶合资项目_环评简本.pdf VIP
- 泌尿外科护理一科一品汇报.pptx VIP
- 消防设备项目投标方案投标文件(技术方案).doc
- 2.6.1生物的分类课件(共38张PPT)——初中生物学苏教版(2025)七年级上册(含音频+视频).pptx VIP
- 教育理论基础知识大全.docx VIP
文档评论(0)