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2017-08-06 发布于浙江
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Hf基高K栅介质材料研究进展

材料导报年月第卷第期基高栅介质材料研究进展王韧陈勇 , 电子科技大学微电子与固体电子学院成都。 , 摘要随着微电子技术的不断发展 , 的特征尺寸已缩小至以下 , 几作为栅介质材料已不能满足技术发展的需求, 因此必须寻求一种新型高的介质材料来取代见。当今普遥认为基栅介质材料是最有 ’ 希望取代妈而成为下一代创的栅介质材料。综述了高栅介质材料的意义、