电感耦合等离子体质谱法测定太阳能级多晶硅中杂质元素-材料与测试网.PDF

电感耦合等离子体质谱法测定太阳能级 多晶硅中杂质元素 陈黎明 （上海市计量测试技术研究院，上海 ２０１２０３） 摘 要：多晶硅样品经氢氟酸和硝酸混合酸消解，采用电感耦合等离子体质谱法测定所得样品 　 溶液中 种杂质元素的含量。通过调整分辨率来调整多原子离子对部分被测元素的干扰。方法 ２３ －１ 的检出限（ ）在 · 之间。方法用于太阳能级多晶硅样品中 种元素的测定，回 ３狊 ０．３ １９．７ｎ ２３ ～ ｇ ｇ 收率在 之间，相对标准偏差（ ）在 之间。 ８５．２％ １１１％ 狀＝１１ ０．９％ ４．６％ ～ ～ 关键词：电感耦合等离子体质谱法；太阳能级多晶硅；杂质元素 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） Ｏ６５７．６３ Ａ １００１４０２０２０１３０５０５５６０３ 　　　 　　　 犐犆犘犕犛犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳犐犿 狌狉犻狋犈犾犲犿犲狀狋狊犻狀犛狅犾犪狉犈狀犲狉 犌狉犪犱犲 狆 狔 犵狔 犘狅犾犮狉狊狋犪犾犾犻狀犲犛犻犾犻犮狅狀 狔 狔 犆犎犈犖犔犻犿犻狀犵 （ ， ， ） 犛犺犪狀犺犪犻犚犲狊犲犪狉犮犺犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犕犲狋狉狅犾狅 犪狀犱犜犲狊狋犻狀 犜犲犮犺狀狅犾狅 犛犺犪狀犺犪犻２０１２０３犆犺犻狀犪 犵 犳 犵狔 犵 犵狔 犵 ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｔｈｅｓａｍ ｌｅｏｆ ｏｌｃｒｓｔａｌｌｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎｗａｓｔｒｅａｔｅｄｗｉｔｈａｍｉｘｔｕｒｅｏｆＨＦａｎｄＨＮＯ ａｎｄｔｈｅ ｐ ｐｙｙ ３ ｃｏｎｔｅｎｔｓｏｆ２３ｉｍ ｕｒｉｔｅｌｅｍｅｎｔｓｉｎｔｈｅｓａｍ ｌｅｓｏｌｕｔｉｏｎｗｅｒｅｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄｂ ＩＣＰＭＳ．Ａ ｒｏｒｉａｔｅｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｒａｔｉｏ ｐ ｙ ｐ ｙ ｐｐ ｐ ｗａｓｓｅｌｅｃｔｅｄｔｏｅｌｉｍｉｎａｔｅｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｏｆ ｏｌａｔｏｍｉｃｉｏｎｅｆｆｅｃｔｏｎ ａｒｔｏｆｔｈｅｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄｅｌｅｍｅｎｔｓ．Ｖａｌｕｅｓｏｆ ｐｙ ｐ （ ） ·－１ ｄｅｔｅｃｔｉｏｎｌｉｍｉｔ３ｓｆｏｒｔｈｅ２３ｅｌｅｍｅｎｔｓｗｅｒｅｆｏｕｎｄｉｎｔｈｅｒａｎｅｏｆ０．３－１９．７ｎ ．Ｔｈｅｒｏｏｓｅｄｍｅｔｈｏｄｗａｓ