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第 卷 第 期 光学精密工程 棻椆 暋 棻棻 暋 斨旓旍棶棻椆暋斘旓棶棻棻 暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棻 棻棻 暋 暋 暋 斘旓旜棶棽棸棻棻 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棻棻棻灢棽椀椂椀灢棸椄 基于反射镜表面粗糙度计算极紫外望远镜分辨率 棳 棳 棻棽灣 棻棽 棽 棳 棳 杨 林 郑贤良 陈 波 暋 暋 棬 棳 椈 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林 长春 棻棶 棻棾棸棸棾棾 棳 棭 棽棶中国科学院 研究生院 北京 棻棸棸棸棾椆 椇 棳 摘要 针对短波段成像系统中的散射问题 提出了一种基于反射镜表面粗糙度来计算极紫外太阳望远镜工作波段分辨率 暎 棳 暎 的方法 首先分析了两镜系统中散射光线的传播 讨论了反射镜表面粗糙度相对波长的比值与像面光强分布的关系 棳 棬 棭暎 椇 分频段测量了反射镜的表面粗糙度 利用 相关模型拟合出全频段的一维功率谱密度 数值计算结果表明 在 灢 斝斢斈 棷 棷棬 棭 棳 暎利用 到 为入射光波长 的空间频率范围内 主次镜的有效均方根表面粗糙度分别为 和 斱斿灢 棻 棻 棸棶椀椆旑旐 棸棶椃椃旑旐 棳 棬 棭 棳 旐斸旞光学设计软件 建立了包含反射镜表面粗糙度测量数据的极紫外 斉斦斨 望远镜非序列模型 该计算模型能够反映 棳 棳 棳 棳 出反射镜表面散射对像面分辨率的影响 结果显示 在 棾棸棶棿旑旐波段 包含椄棸棩的能量半径从棾棶椆 旐增大到棿棶棾 旐 望 毺 毺 棳 暎 远镜在工作波段相应的分辨率为 棸棶棽椀曞满足设计要求 椇