线切割机介绍.PDF

线切割机 PRECISION WIRE SAW 梦溪（香港）贸易有限公司 制造商：UNIPRESS (POLAND) 晶体 原子在晶体内部的有序排列， 导致其具有一系列特有的性 质。 方向性 某种几何结构 2 晶体加工  切割（片）、磨削、研磨和抛光…… 切割的质量很重要： 加工表面有好的面形精度 小的表面粗糙度 损伤层尽可能浅 高的生产率 切割的成本很高，占到硅片生产成本的30%！ 3 晶体切割的分类 4 圆锯切割  切刀容易产生变形和侧向摆动  硅片表面破损严重  切缝较宽  崩边 5 1. 加工温度较低，适于易炸裂材料 线切割 2. 不会引起崩碎 3. 可切割精密窄缝，材料利用率高 1.游离磨料 利用锯丝运动将相应的研磨液带入工件切缝，产生切 割作用。 研磨液由磨粒 （一般为金刚石或碳化硅或碳化硼）和 矿物油按一定比例混合而成。 好的面形精度 小的表面粗糙度 主 损伤层浅 流 低的生产率 6 2. 固结金刚石 通过电镀的方式将金刚石颗粒固结镶嵌在钢丝表 面的镀层上制成的一种线锯。 面形精度一般 表面粗糙度一般 损伤层浅 高的生产率 7 机理区分 游离磨料线切割中，材料去除的机理是研 磨，磨粒垂直作用于切割表面； 固结金刚石线切割与磨削相似，锯丝相当 于金属结合剂的砂轮，金刚石磨粒在脆性 材料表面上刻划。 8 例 Crystec Technology GmbH 电镀法制作的金刚石锯丝 优势：Very thin wire saws can be used, down to 100µm in diameter. 9 相对于已经相当成熟的游离磨料线切割技术，固结 金刚石线锯切割的硅片表面存在大量的切割线痕， 表面形貌明显不同于前者。 实验室使用什么？ 工业线切割机 10 线切割机的关键点 锯丝直径 张力控制 速度控制 11 SOUTH BAY TECHNOLOGY www.SouthBayT Wire Types/Diameters Stainless Steel: .005”, .010”, .015” Diamond: .010” .015” 12 4.5万英镑左右 Logitech Lim