微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试与研究!.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’’ ’ #$$* ’ ， ， ， U02 )’’ T0 )’ 958 #$$* （ ） !$$$@#R$Q#$$*Q’’ $’ Q##(@$ ?H? PMS;O? ;OTO? #$$* 4-6 ) P487 ) ;0. ) ############################################################### 微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试 和研究! ） ） ） ） ） ! # ! # ! 阮 勇 郇 勇 张大成 张泰华 王阳元 !）（北京大学微电子学研究院，北京 !$$%!） # ）（中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室，北京 !$$$%$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #$$’ #$ #$$’ !! !( 提出了一种新型的测试结构，对面积为微米量级下键合的最大抗扭强度进行了测试 实验设计一系列的单晶 ) 硅悬臂梁结构测试键合面积在微米量级时的最大剪切力，键合面为常用的矩形其边长从* + 到 !#$ +，并根据实 ! ! 际移动距离计算得出的最大剪切力) 并实验实际得出最大剪切扭矩和相应的键合面积的曲线，以及最大扭转剪切 破坏应力与悬臂梁加载距离的关系，并针对*$ + , *$ + 的矩形键合结构进行了加载和位移的重复性实验测量，两 ! ! 次测量结果符合较好 微电子机械系统（ ， ）器件的设计人员可以根据结论曲线，针 ) +-./0121.3/0+1.456-.52 78731+ 9:9; 对所需的抗扭强度设计相应的键合面积，为9:9; 器件工艺的在线定量测试与设计提供参考) 关键词：阳极键合，硅深刻蚀，键合强度，最大抗扭强度 ： ， ， ， !## ’#$= *(%$= %!($ $!$ ， ）硅深刻蚀和硅 玻璃技术阳极键合 D257+57 OP @ ［］ R （ ）技术 ，对于在线监控 !G 引 言