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第21卷第3期 传感技术学报 v01．21No．3 OF 2008年3月 CHINESEJOURNALSENSORSANDACTUATORS 眦．2008 onElectromechanicalInterface CapacitanceAnalyses ModelofHorizontal-AxisSiliconMicromachined Gyroscope’ YEFu，WANG Shou—tong。，CHENGLong (School 210096，China) ofInstrumentScienceandEngineering·SoutheastUniversity，Na可ing Abstract：Theelectromechanicalinterfacemodelofthestructureofthehorizontal—axissiliconmicromach— ined ofthe isestablished．The on are andsimu— gyroscope impactsstraycapacitanceoutputsignalanalyzed latedwiththesimulationsoftwareofcircuit．The that resultsindicatethe betweenmassand capacitances the wireshavemade on methodsare for- substrate，disposal last，some greatimpactoutputsignal．At put wardtodecreasethe andincreasethe noiseratio． straycapacitance signal words：siliconmicromachined interface Key gyroscopes；electromechanicalmodel；stray lation． EE们C：7630；2575 水平轴硅微机械陀螺仪机电接口模型的电容分析* 叶 甫，王寿荣’，程 龙 (东南大学仪器科学与工程学院，南京210096) 摘 要：以水平轴硅微机械陀螺仪结构为对象，建立了陀螺仪机电接口的理论模型，分析了模型中杂散电容对输出信号的影 响，并用电路分析软件对模型进行仿真。结果表明，陀螺仪活动结构与衬底、引线问的电容对输出信号的影响很大，最后提出 了减小杂散电容，提高信噪比的方法。 关键词：硅微机械陀螺仪；机电接口模型；杂散电容；仿真 中图分类号：V241．554 文献标识码：A 硅微机械陀螺仪，是通过检测敏感电容的变化 量来测量输入角速率的。在结构中，除了存在有用 电容如驱动电容、敏感电容外，还存在许多杂散电 A+ 容。由于硅微机械陀螺仪的尺寸微小，尽管
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