水平震荡机械研磨对酸性镀铜微观结构的影响.pdfVIP

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2017-07-29 发布于北京
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水平震荡机械研磨对酸性镀铜微观结构的影响 81 水平震荡机械研磨对酸性镀铜微观结构的影响 Effectsof MechanicalAttritionon HorizontallyVibrating theMicrostructureof Cu E1ectrodepositionCoatings 冯长杰1，杜楠1，王春霞1，何业东2 (1南昌航空大学材料科学与工程学院无损检测技术教育部重点实验室，南昌330063； 2北京科技大学北京市腐蚀、磨蚀与表面技术重点实验室，北京100083) FENG Nanl，WANGChun—xial，HE Chang—jiel，DU Ye-don92 (1 ofNondestructive ofEducation)，Schoolof KeyLaboratory Testing(Ministry MaterialScienceand Engineering，NanchangHangkong for andSurface 330063，China；2 Corrosion，Erosion BeijingKeyLaboratory ofScienceand 100083，China) Technology，UniversityTechnologyBeijing，Beijing 摘要：在传统酸性镀铜液中加入玻璃球，玻璃球以不同频率在试样表面滚动一滑动形成机械研磨(MA)。利用SEM，XRD 分数)溶液中耐蚀性的影响。结果表明。与传统镀层(TEP)相比，水平震荡MA可显著减小TEP镀层的晶粒尺寸和孑L隙率，显著提高TEP镀层的耐蚀性。在1．o～4．0Hz范围内，改变频率对MAEE镀层晶粒细化的影响不明显，当震荡频率率对MAEE微观结构的影响机理。关键词：机械研磨；电沉积；铜镀层；水平震荡；结构；耐蚀性中图分类号：TQl53文献标识码：A 文章编号：1001-4381(2011)06—0081—06 mechanical inatraditionalacid of Abstract：The attrition(MA)was supplied electroplatingprocess thehorizontaland of ballsonthe surfacewitha copperby rollingslidingglass sample specialvibrating of the effects on frequency．Thevibratingfrequencymicrostructure，grain wellascorrosionresistancein solutio