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CPS-低温真空探针台
CPS-低温真空探针台- CPS-7000 LN2/LHe低温真空探针台是一种利用液氦/液氮快速制冷并为晶片、器件和材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。该低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，为了提高系统的实用性，系统还可以提高3.2K的温度扩展选件、震动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。技术规格温度范围：80k-475（液氮制冷），4.2k-475k（液氮制冷）选配低温选件后，温度可降低到3.2K；选配高温选件，温度范围为20k-675k；控温稳定性：+50mK；制冷剂消耗:1.5L/hr@LHe ? 0.5L/hr@LN2;降温时间：液氦~30min to 10k，~60min to 5k；液氮~45min to 110k， ~60min to?80k；最大测试样品尺寸：直径51mm；频率范围：测量DC到67GHz；XYZ位移平台形成与精度：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm；真空环境：10-5-10-6mbar顶部光学观察窗：标准2.0‘’（51mm）；4个直流探针臂，最多可使用6个探针臂，每个探针臂上配有三个同轴接头及配套电缆。标准配置：低温真空探针台：包含探针台、显微成像装置、三维位移平台、阻尼隔振台、液氮液氦制冷平台选购件：气动隔振台、阻尼隔振台、3.2K低温选件、高温选件、带充气增压杜瓦瓶、电动控制杜瓦瓶、泵管道隔震装置、无油压缩机、机械泵、分子泵机组等。
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