阻剂涂布及显影系统ACT8.PDFVIP

文件編號 S3-NL05 DOCUMENT NO. 總 頁 數 共 8 頁 TOTAL PAGE 文件名稱 儀器設備作業標準 (CF-L17 阻劑塗佈及顯影系統ACT8) TITLE 機台名稱： 阻劑塗佈及顯影系統ACT8 機台編號： CF-L 17 制訂部門： 奈米元件廠 制訂日期： 20 12/01/02 文件 制修 訂 記 錄 NO 發行日期 修訂申請書編號 制修訂內容 修訂頁次 版本 01 20 12/01/02 制定初版 1.0 02 2013/07/01 102-DC09 修改表首 logo及制訂部門名稱 ALL 2.0 修改 03 04 05 06 07 08 核 准 審 查 制 訂 DOCUMENT NO. ： TITLE ： 儀器設備作業標準 S3-NL05 (CF-L17 阻劑塗佈及顯影系統 ACT8) ISSUE DATE 2013/07/01 REVISION 2.0 PAGE 第 1 / 7 頁 一、目 的： 定義阻劑塗佈及顯影系統ACT8操作規範，以確保操作品質。 二、範 圍： 適用於阻劑塗佈及顯影系統ACT8 。 三、權 責： 1. 組織權責：工程師負責制定及修改規範。 2. 執行人員資格：經過阻劑塗佈及顯影系統ACT8考核通過之人員。 四、名詞定義： 無。 五、相關文件： TEL CLEAN TRACK ACT 8 MANUAL 六、標準作業程序： 1.檢查機台運轉告示牌是否為運轉中（圖一 ），並翻閱使用紀錄表查看機台是否正常。若有 異常請勿登入系統操作，若為正常則可登入系統開機操作。 2.登入系統開機，並填寫使用紀錄表之日期、開始時間、使用者姓名、 學校單位/ 、聯絡方 式、晶圓數量、製程編號等欄位。多人同時使用機台，每位使用者都必須填寫使用紀錄表。 3.檢查畫面上方是否有紅色 Alarm閃爍 ，若無，請直接執行步驟4 ；若有，請按紅色區域 ALARM 鍵（圖二），到Alarm List畫面下檢查確認警示原因並加以排除，方可進行下一 步驟。一般使用者可自行排除之警示訊息請參考步驟16 並隨時注意必威体育精装版機台公告；其餘 不可自行排除之警示訊息請即刻通知工程師處理並註明於使用紀錄表備註欄中。此外，第