Sensor MEMS文献Flexible and Controllable Piezo-Phototronic Pressure Mapping Sensor Matrix by ZnO NWp-Polymer LED Array.pdfVIP

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2017-07-27 发布于浙江
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www.afm-journal.de www.MaterialsV R Flexible and Controllable Piezo-Phototronic Pressure E P A Mapping Sensor Matrix by ZnO NW/p-Polymer LED Array P L L Rongrong Bao, Chunfeng Wang, Lin Dong,* Ruomeng Yu, Kun Zhao, Zhong Lin Wang,* U F and Caofeng Pan* requirements of artiﬁ cial skins whose A functional tactile sensing device is essential for next-generation robotics spatial resolution is near 50 µm. Our and human–machine interfaces technologies, since the emulation of touching group has demonstrated pressure sensor requires large-scale pressure sensor arrays with distinguishable spatial-res- array base on piezotronic[ 3 ] and piezo- olution, high sensitivity, and fast response. Here, a ﬂ exible LED array com- phototronic effects.[ 4 ] A spatial resolution of 120 µm was achieved for piezotronic posed of PEDOT:PSS and patterned ZnO NWs with a spatial resolution of [ 5 ] pressure sensor array, and an ultrahigh 7 µm for mapping of spatial pressure distributions is designed and fabricated. resolution of 2.7 µm was derived from a The