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脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入鞘层扩展动力 - 物理学报.pdfVIP

脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入鞘层扩展动力 - 物理学报.pdf

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    第卷第期年月物理学报脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入鞘层扩展动力学的影响黄永宪田修波杨士勤哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室哈尔滨深圳市复合材料重点实验室深圳国际技术创新研究院深圳香港城市大学物理及材料科学系香港九龙年月日收到年月日收到修改稿等离子体浸没离子注入是用于材料表面改性的一种廉价高效非视线的技术采用等离子体粒子模型通过假设电子密度服从分布求解方程和方程跟踪离子在等离子体鞘层中的运动形态及特性并进行统计分析研究了不同上升速率和形状的种波形上升沿对鞘层时空演化离子注入能量

    第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 37 5 446 5 ， ， ， W;2 /37 A; / 5 E%X%@ 446 （ ） !444H+R4S446S37 45

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