萤光x线分析法の基础（methodology of x-ray fluorescence .pptVIP

通常の使用方法で測定している限り，Ｘ線被爆に至る事故は発生しません． インターロックは絶対に殺さない． メンテナンス作業前に必ずＸ線（電源）がＯＦＦになっている事を自分で確認する． Ｘ線は電源が切れていれば出ない． メンテナンス作業では高電圧にも注意する． Ｘ線発生装置や検出器では数ｋＶ～数十ｋＶの高電圧を使用 している．　チャージアップにも注意が必要． Ｘ線は可視光と同様に電磁波である γ線 ：原子核が壊変することにより発生 Ｘ線 ：電子をターゲットに衝突させて発生 波動性 干渉や回折現象を起こす 粒子性 あるエネルギーを持った粒子（光量子）として振る舞う ?　Ｘ線 電源を切ればＸ線は出なくなる． ?　放射性物質 いつでも放射線が出ている． 放射線（α線）を照射された別の物質も放射化される． 電子を高速でターゲットに衝突させるとＸ線が発生する 連続Ｘ線（白色Ｘ線） 蛍光Ｘ線法 放射線透過試験法 特性Ｘ線（固有Ｘ線） Ｘ線回折法 Ｘ線がその波長と同程度の周期で、規則的に原子が配列した物質（結晶）に入射すると、Ｘ線は特定の方向へ散乱される どんな元素がはいっているか？ BeからUまで分析可能 どの元素がどれくらいはいっているか？ ppm(1/1000000)オーダーから分析可能 FP法と検量線法 FP法による定量分析の原理 FP法による薄膜分析の考え方 日常管理分析フローチャート * 蛍光Ｘ線分析装置 注）一次X線の波長分布はターゲット材質や印加電圧によって異なる 一次X線フィルター サンプル（例：ステンレス） 分光結晶 Ｘ線管 ソーラースリット Ni Ka Fe Ka 検出器 Cr Ka 蛍光Ｘ線 ソーラー スリット 注）検出器は2種類（SCとF-PC） 測定線によって切り替える 視野制限スリット 走査型蛍光Ｘ線分析装置の光学系（概略図） 選択可能なスリット 各測定Ｘ線に専用の 走査型 多元素同時型 １つの走査型ゴニオメータ 複数の固定型ゴニオメータ 選択可能な 検出器 選択可能な 分光結晶 固定ゴニオメータ 種々の測定Ｘ線にフレキシブルに対応可 装着された測定Ｘ線にのみ対応可 測定Ｘ線が複数の場合は光学系 条件を変えて順次測定していく 複数の測定Ｘ線を同時測定可能 工程管理の迅速分析に最適 ピーク近傍のバックグラウンド測定や 定性分析が可能 走査型と同時型装置 蛍光Ｘ線?Ｘ線回折装置使用における注意点 ウイルヘム?コンラッド?レントゲン博士 １８９５年、レントゲン線（Ｘ線）を発見。 真空放電の実験中に放電管の電極から、 ?目には見えないが、 ?写真乾板を感光させ、 ?蛍光物質を光らせ、 ?物質を突き抜ける という不思議な性質をもった光線のようなもの が出て来ることを発見した。 そして、この正体のわからないものをＸ線と 名づけた。 Ｘ線（放射線）の発見 Ｘ線とは何か（電磁波の分類） （ 1?　=　0.1nm　=　10-8cm ） 10-10 10-8 10-6 10-4 100 102 104 cm 10-2 100 102 104 108 1010 1012 ? 電磁波の波長 Ｘ線の波長　：　0.01～100? 軟 Ｘ 線 遠 紫 外 紫 外 可 視 近 赤 外 遠 赤 外 マ イ ク ロ 波 超 短 波 短 波 長 波 硬 Ｘ 線 γ 線 ?Ｘ線は波長の短い電磁波 E ≒ 12.4／λ E ：エネルギー（keV） λ：波長（?） Ｘ線の性質 238Ｕ α線 Ｘ線と放射性物質 ＯＮ ＯＦＦ ｚｚｚ???z Ｘ線の性質 ?写真（感光）作用 　　写真乾板を感光させる　 →　レントゲン写真?非破壊検査 ?蛍光作用 　　ＺｎＳ，ＣｄＳ，ＮａＩ等に照射すると蛍光を発する　→　検出器のシンチレータ ?イオン化作用 　　大気等をイオン化する　 →　ＰＣ（比例計数管），ＳＳＤ（半導体検出器） ?高透過率 　　様々な物質を透過する　 →　レントゲン写真?非破壊検査 ?回折現象 　　結晶性の物質に当たると反射波が干渉し，特定の方向に強い反射を示す 　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　→　Ｘ線回折，分光結晶 ?低屈折率で，電場?磁場の影響を受けない 　　Ｘ線を屈折（レンズ）で集光させることは困難 ?全反射現象 　　低い角度で入射させると物質表面