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晶体硅太阳t池材料223
多晶硅铸锭石英陶瓷坩埚及涂层
陈圣贤1汪钉崇2
(1苏州创新陶瓷有限公司江苏苏州215007．2常州天台光能有限公司江苏常州213031)
摘 要 在物理括提纯太阳能级多晶硅材料和定向结晶系统(DSS)采用i莫陶瓷坩埚石英陶瓷坩埚的浩层材料叵
其应用I￡均不同f拉单品使用的再蔓玻璃坩埚。石英陶瓷坩埚的馀层在提纯多晶硅和定向结晶中起关键性
的作用，
关键词 i英陶瓷太阳能坩埚太日能镊多晶硅材料
石英陶瓷坩埚的材料基体为石英，采用高级陶瓷生产工艺制造。其晶相为晶体和玻璃体，其基本性能和分
析手段为工程陶瓷的研究内容。这不同于石英玻璃坩埚，采用玻璃工艺生产。在拉单晶中使用的石英坩埚，其
材料基体是玻璃，完全是玻璃相，
陶瓷坩埚的主要化学成分：
990％
二氧化硅(Silica)Si02
05％
三氧化二铝(Alumina)A1203
05％
氧化钙(Caleia)CaO
石英玻璃坩埚的主要成分足单一高纯度的二氧化硅(SiIica)Si02
涂层材料
石英玻璃坩埚采用高纯的SiOz作为涂屡材料．而陶瓷坩埚采用的涂层材料为Si…N
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HCST
囤1 si扎的自于扫描目片
．224． 第十届中国太阳能光伏会议论文集
表l Si3N4涂层的主要化学成分％(cg／g)：
N Min．38．5％
C Max．0．2％
0 Max．1．5％
Al Max．0．005％
。
Ca Max．0．001％
Fe Max．0．00l％
Co M缸．0．005％
Cr Max．O．001％
Cu Max．0．005％
K Max．0．001％
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Mn MaX．0．00l％
MO Max．0．00l％
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