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年 月 系统工程理论与实践 第 期 !# $ $ !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 文章编号： （ ） %$’(( !# $%%( 半导体制造中具有非重入过程的自动组合装置的性能分析 白丽平，伍乃骐 （广东工业大学机电工程学院，广东广州 ） #%) 摘要： 将面向资源的着色、赋时 网（ ， ）用于半导体制造 *+,-. /010-+2 ,.3+2 -+405-/+0-.+6,+2 *+,-. 6+, 789:*; 业中自动组合装置的建模 具有较强的建模能力，能够准确描述自动组合装置的加工过程 借助 789:*; 该模型，对非重入加工过程的初始特性、稳态特性和结束特性进行详细的分析 关键词： 自动组合装置； 网；建模；非重入过程 *+,-. 中图分类号： 8*!’( 文献标识码： = *+-0-3?6/+ =6?1@4.4 0 7154,+- 8001 A.,B ;069+C.4.,.6D .6 E+3./0625/,0- F?65?/,5-.6D ， G=H I.J.6D KL ;?.M. （ ， ， ， ） N+J, 0 F+/B?,-06./4 O6D.6++-.6D P5?6D206D L6.C 0 8+/B6010D@ P5?6DQB05 #%) 7B.6? ： （ ） ’ !#$%’$ = /010-+2 ,.3+2 -+405-/+0-.+6,+2 *+,-. 6+, 789:*; .4 J0A+-51 ,001 ,0 4.351?,+ ,B+ 4@4,+34 -+405-/+ 2.4,-.R5,.06 H, .4 2+C+10J+2 ,0 302+1 ,B+ /154,+- ,0014 .6 4+3./0625/,0- 3?65?/,5-.6D E.6/+ +?/B 30251+ .6 ? /154,+- ， ,001 /0--+4J0624 ?6 56.M5+ J1?/+ J .6 789:*; ., .4 4,-5/,5-?11@ 4.3J1+ ?62 /06/.4+ 8B-05DB 302+1.6D ,B+ M5?1.,?,.C+
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