薄膜干涉条纹.pptVIP

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2017-07-14 发布于河南
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薄膜干涉条纹.ppt

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薄膜干涉条纹

同学们好！;n1; 当 i 保持不变时，光程差仅与膜的厚度有关，凡厚度相同的地方光程差相同，从而对应同一条干涉条纹---;为此，明纹和暗纹出现的条件为：;二、劈尖膜;2.明暗条纹条件;（2）相邻明（暗）纹对应薄膜厚度差：;4.条纹变化;应用1:测量微小直径，厚度; 例1 在半导体元件生产中，为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，已知SiO2 的折射率n =1.46，用波长? =5893埃的钠光照射后，观察到劈尖上出现9条暗纹，且第9条在劈尖斜坡上端点M处，Si的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。;应用2:检测工件平面的平整度;例2 利用空气劈尖的等厚干涉条纹可以检测工件表面存在的极小的加工纹路，在经过精密加工的工件表面上放一光学平面玻璃，使其间形成空气劈形膜，用单色光照射玻璃表面，并在显微镜下观察到干涉条纹，;解:如果工件表面是精确的平面,等厚干涉条纹应该是等距离的平行直条纹，现在观察到的干涉条纹弯向空气膜的左端。因此，可判断工件表面是下凹的，如图所示。由图中相似直角三角形可: ;所以: ;牛顿环干涉图样;2.明暗纹条件;4.明暗纹半径;得;应用：测量透镜的曲率半径;谢谢