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2017-07-17 发布于天津
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含氮磷酸锂薄膜在空气中的稳定性.pdf

理化学学报(Wuli Huaxue Xuebao) November Acta Phys. Chim. Sin., 2006, 22(11) ：1413 1418 1413 [Note] 含氮磷酸锂薄膜在空气中的稳定性文元1, 2 李驰麟1 傅正文1, * 1 2 ( 复旦大学化学系激光化学研究所, 上海 200433 ；西北核技术研究所, 西安 710024) 摘要利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜. 采用SEM 、XRD 、XPS 等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法, 研究了空气湿度对LiPON 薄膜形貌、组成和性能的影响. 结果表明, LiPON 薄膜在湿度为 40% 的空气环境中放置24 h 后, 将发生明显的水解反应, 使LiPON 薄膜表面形貌变得疏松、局部突起；PH3 和 NH 的产生, 使薄膜中磷元素和氮元素含量减少, 而Li CO 的生成, 则使薄膜中碳元素和氧元素含量有明显的增 3 2 3 加. LiPON 电解质薄膜形貌和组成的变化, 造成了薄膜电化学性能的严重恶化. 关键词： LiPON 薄膜, 薄膜电解质, 磁控溅射, 全固态薄膜锂电池中图分类号： O646.2 Stability of Lithium Phosphorous Oxynitride Thin Films in Humid Air LIU, Wen鄄Yuan1, 2 LI, Chi鄄Lin1 FU, Zheng鄄Wen1, * 1 ( Laser Chemistry Institute Department of Chemistry, Fudan University, Shanghai 200433, P. R. China; 2Northwest Institute of Nuclear Technology, Xi 忆an 710024, P. R. China) Abstract Lithium phosphorus oxynitride (LiPON) thin films were prepared by radio frequency (RF) magnetron sputtering . The morphology, composition and electrochemical performance of LiPON electrolyte thin films placed in humid ambient were investigated using SEM, XRD and XPS, and electrochemical measurements of AC (alterna