研发可于室温操作的一氧化氮气体感测器 - 科技部工程科技推展中心.pdf

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 研發可於室溫操作的一氧化氮氣體感測器 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2622-E-214-011-CC3 執 行 期 間 ：99年11月01日至 100年10月31日 執 行 單 位 ： 義守大學電機工程學系 計 畫 主 持 人 ： 沈季燕 計畫參與人員： 碩士班研究生-兼任助理人員：陳建仲 碩士班研究生-兼任助理人員：黃昱峰 碩士班研究生-兼任助理人員：黃詳閔 碩士班研究生-兼任助理人員：施勇全 碩士班研究生-兼任助理人員：陳弘軒 碩士班研究生-兼任助理人員：陳冠傑 公 開 資 訊 ： 本計畫涉及專利或其他智慧財產權，研究成果報告(精簡版)2 年後可公開查詢 中 華 民 國 100 年 11月 04 日 中文摘要： 本計畫研發可於室溫下操作並測量ppb濃度等級一氧化氮的氣 體感測器，其研發項目包含具選擇性感測薄膜之研製、一氧化 氮氣體感測器之研製，及感測電路設計研製等。其主要目的乃 在於整合電子、化學與通訊電路技術，開發可應用於生醫檢測 之具靈敏性、回復性，和再現性的一氧化氮氣體感測器。在感 測薄膜之研究以可與一氧化氮氣體靈敏反應的奈米氧化鎢/聚 苯胺為主要開發對象，在感測器的設計上主要是以具有體積 小、特性佳、複製性佳以及可靠度高等優點的表面聲波元件為 主要研製對象，在氣體偵測信號處理電路設計上則以迴授式高 頻振盪電路為主，最後並將其整合以完成整個應用於室溫偵測 的感測器開發研究。此感測器偵測ppb濃度一氧化氮時，具有 靈敏性、回復性與再現性的感測特性，而且響應時間和回復時 間為20~80秒。本計畫還探討二氧化氮和二氧化碳對此具有聚 苯胺/氧化鎢薄膜的表面聲波一氧化氮感測器之選擇性的干擾 現象，由結果顯示，二氧化氮和二氧化碳造成的干擾可以忽 略。 英文摘要： This project has developed the gas sensor that can sensitively detect ppb-level nitric oxide (NO) at room temperature. The research items included the development of selective chemical interface, nitric oxide gas sensor, and sensing circuit design. Its aim is to develop a sensitive, reversible, and repeatable biosensor for nitric oxide gas by using several techniques, such as electronic, chemical, and commu