BLL-1200F3触摸屏宝来利说明.docVIP

BLL-1200F3光学真空镀膜机操作说明 一．安全使用事项 1.1前言 1.1.1 使用（安装、运行、检查、维修）光学真空镀膜机之前，请务必仔细阅读本使用说明以及各单元设备制造厂商所提供的使用维护说明书。如果对于使用、安全警告、危险标示等方面有不明白之处，请及时向本公司售后服务部门（本说明书后附有联系方式）咨询。 绝对禁止在未充分了解产品的情况下将其投入使用。 本说明书及各单元设备制造厂商提供的说明书请尽可能地保管在设备附近。以便在设备使用过程中根据需要及时查阅。说明书一旦破损或丢失，请立即与本公司售后服务部门联系，及明补充完整。另外，在转售本机时，请务必将本说明书及各单元设备制造厂商提供的说明书切实地交到最终用户手中。如果转售地因使用说明书不完善而发生事故，将会追究贵公司作为销售商的责任。 为了进行使用说明、安全指示以及危险警示，设备上粘贴有各种指示牌，请遵照执行。这些指示牌对确保作业人员的人身安全有着非常重要的作用，在日常检查维护中，请务必保持其完整、醒目。 1.2注意事项 1.2.1综述 1.2.1.1 光学真空镀膜机重量较大，要求其安置场所（操作间）以及搬运通道的地面必须有足够的承载强度。如果不能满足要求，请进行必要的改建。 1.2.1.2 使用本机，需要提供4Kg-8Kg的压缩空气、三相五线380V/50Hz的电力、接地电阻小于10?，电阻率为5?.cm的清洁冷却水（水温18℃-25℃,冷却水压：入口0.3MPa-0.4MPa/出口OKg-1Kg）1.2.1.6 对于产生故障、破损或异常声音的设备，请立即停止使用。否则可能造成事故甚至人身伤害。 1.2.1.7 不得在户外、水或酸碱性气体能波及到的场所、尘埃较多的场所及储藏有危险物品的场所使用本机。 1.2.1.8 本机使用的真空泵不能进行凝缩性、凝固性气体或粉尘的排放。 1.2.1.9 本机为光学真空镀膜设备，不得用于其它用途。 1.2.1.10 在真空室门打开或限位开关处于开锁状态下时，禁止运行设备。 1.2.1.11 设备有自动、手动、维修三种运行状态。用户正常情况下只能在手动、自动状态下使用，严禁在维修状态下使用。否则会对设备或操作人员造成严重伤害 1.2.1.12 本机装置中使用有高压、高频、强磁场，请不要让佩带心脏起搏器的人员接近。强电磁场会对心脏起搏器造成恶劣的影响。二．手动操作过程： 1.开机准备： 1.1接通水源+气源+电源，触摸屏有显示并有报警(有报警项显示）,整机子动作全默认为手动。（真空手动，离子源手动，阻蒸手动，穴埚手动，枪电源手动，P/深冷手动，充气手动） 1.2开AP（气泵+冷水机），颜色由绿色变红色，并听到哒一响，说明AP启动了，气压达到5Kg左右报警解除。 1.3开WP，FP（水泵+分子泵电源），颜色由绿色变红色，并听到哒一响，说明WP启动了,空压达到5Kg左右报警解除。 1.4触摸屏无报警显示项后，说明设备开机条件满足。 2. 预热过程： 2.1开VP（维持泵），颜色由绿色变红色，并听到哒一响，说明VP开了。 2.2延时10秒，开VPV（维持阀），颜色由绿色变红色，说明VPV开了。 2.3开FP(分子泵），颜色由绿色变红色，说明FP启动了。FP开始加速，待20min后FP进入225HZ的工作状态(F1，F2，F3运正由绿色变红色)。 3. 抽真空过程： 3.1左手压着门把手，右手按闭门器开关，触摸屏左上角DOOR颜色由绿色变红色，门闭合。 3.2开RP（机械泵），颜色由绿色变红色，并听到哒一响，说明RP启动了。 3.3延时20秒，开SRV（防湍阀），颜色由绿色变红色，说明SRV抽真空开始。 3.4，真空抽到5WPa时(左上角5WPa变红色），关SRV（防湍阀），颜色由红色变绿色，说明SRV关闭了,开RV（粗抽阀），颜色由绿色变红色，说明RV开始抽真空。 3.5，真空抽到5KPa时了(左上角5KPa变红色）,开MP（罗茨泵），颜色由绿色变红色，说明MP开始工作。 3.6真空抽到5Pa时(左上角5Pa变红色）,先关闭RV（粗抽阀），颜色由红色变绿色，说明.RV关闭。开MV（主抽阀），颜色由绿色变红色.说明MV开始工作，再开制冷，盘管由红色变绿色.说明深冷开始工作，抽高真空开始。再关闭MP（罗茨泵），颜色由红色变绿色，说明.MP关闭;延时90S后，最后关RP颜色由红色变绿色，说明.RP关闭. 4. 镀膜过程： 4.1离子清洗 当真空室压力达到3×10-3 Pa真空度时， 开流量计的控制开关给真空室充氩气（5SCCM)，真空度退到9×10-3 Pa后，打开离子源电源,屏压350V,离子流80MA,电子流88MA清洗被镀工件5MIN. 4.1离子