浅谈奈米科技与奈米电子元件制作的挑战.PDF

淺談奈米科技與奈米 電子元件製作的挑戰 謝光宇 旺宏電子 奈米技術研發處/前瞻技術實驗室 4/27/2004 大綱 何謂奈米科技? 奈米世界的神奇 奈米電子元件的特性 奈米元件的製作 奈米電子元件未來的發展 大綱 何謂奈米科技 ? 奈米世界的神奇 奈米電子元件的特性 奈米元件的製作 奈米電子元件未來的發展 City of Cathay (清明上河圖/北宋張擇瑞) Chinese scroll painting 528.7cm long, 24.8cm high 太液池牌坊邊有比武，兒童立在牛背或人肩上觀看 鄰河的茶肆顧客頗多，對街有浴室、轎舖 擔糞人落了一個桶，路人正掩鼻而過 二十匹馬拉著運石大車，前有黃旗開道， 此為宮裡所用。旁有乞者三人 一老者正勸架，另一赤臂大漢要趕來加入戰團 狀元府前，主人正送客，客一坐轎，兩位 乘馬（一人已上馬）。 城門之前有米囤為糧店，也有人在晒糧 左下角有走索女郎在表演，河裡插黃色龍旗的是官船 汴河上最大也最熱鬧的虹橋，有托缽化緣的和尚 牧童立在牛背上看猴戲，高懸的紙穗是飯館的標誌 節令或酹神時，臨時搭蓋戲台，演唱地方戲劇 兩隻狗隨著樂聲，追著花轎，趕上娶親的熱鬧 The Beauty of miniature 12.5cm 0.5cm The painting was carved on a piece of ivory. The size of the ivory is around 12.5 cm long and 0.5 cm high. 何謂奈米? 奈米一詞源自拉丁文『NANO 』，意 思是【矮小】。 奈米是一種長度單位。 1奈米為百萬分之一公釐。 也就是十億分之一公尺 (米) 。 相當於 4 、5個原子串起來的長度。 Macro, Micro, Nano 奈米到底是多小? 何謂奈米科技? 最簡單的定義: 以單個原子或分子製造物質的科技技術延續人 類既有的文明或是創造人類歷史前所未有的科 技文明 從尺寸觀點定義奈米科技 奈米科技乃是針對物件尺寸在1-100nm範圍內 的製作與應用 從現象觀點定義奈米科技 奈米科技的物件將呈現出量子效應 ,尺寸效應 以及以往巨觀環境下所不存在的特殊現象 奈米科技的起源? 1959 Richard Feynman 在 Cal. Tech.的演講中提到 “ There is plenty of room at the bottom” 此乃是由上而下的觀念,而將近五十年來的半導體工 業就是扮演著推動奈米科技前進的幕後推手 K. Eric Drexler (MIT Ph.D) 於1987 提出 “Engines of construction”觀念，開啟由下而上的觀念，尋找 適當的裝配器，自由將原子與分子組合，做出希望 做出的物件。奈米科技近期內被大大的重視，與此 觀念有相當關聯。 Richard Feynman’s Nanotechnology 削除