洁净室静电控制该如何控制.PDF

Special Report 特写 洁净室静电控制该如何控制 导语：静电控制的基本原则：（1）确定静电控制级别； 1000V 等对应元器件、组件和设备静电敏感电压的3 级。 （2 ）尽量减少静电荷的产生；（3）泄放和中和的办法加速 静电荷消散，防止静电积累；（4 ）保护产品不受ESD 的 尽量减小静电荷的产生 损坏。 这是控制静电三步曲的第一步，在这净化工作环境 中，最好的措施： （1）尽量采用性质相似器材，减少在接触摩擦分离过 程中产生静电电荷； （2 ）尽量采用导静电型或静电耗散型材料的器材，减 少接触摩擦分离过程产生积累静电荷； （3 ）尽量采用减少接触摩擦分离而产生静电荷的生产 流程。 泄放和中和 这是控制静电三步曲的第二步，在微电子生产的净化 室中最通常的措施是接地，采用导电性或耗散性材料泄放 静电荷，以及离子化消电器中和静电荷。 （1）接地 洁净室应设一个独立静电接地系统（包括地面接地 金属网支系统、生产线工作站接地支系统），以便室内所 有设备金属外壳、移动设备的金属支架、防静电器材等 安全、有效地将静电荷泄放至大地。工作人员的带电则 静电控制的基本原则 通过手腕带接地，以及通过防静电鞋或脚跟带再经防静 （1）确定静电控制级别 电地面向大地泄放。地面、墙面、顶棚、隔断等是硬接地， （2 ）尽量减少静电荷的产生 设备外壳、移动设备（车、椅、货架等）、工作台等则属 （3 ）泄放和中和的办法加速静电荷消散，防止静电积累 软接地。 （4 ）保护产品不受ESD 的损坏 （2 ）离子化消电器 洁净室中生产组装的元器件、PCB ，生产线、工作站 确定静电控制的级别 上总是难免存在一些不能接地的绝缘导体和绝缘介质材料 （1）元器件、组件和设备静电敏感度分级 （例如大多数普通塑料）。在某些环境下，离子化消电器常 1 级：易遭受0-1999V 静电电压损坏的 用来局部消散这些物体上的静电荷，而更经常的是借助于 2 级：易遭受2000-3999V 静电电压损坏的 空气离子化来中和在绝缘介质上和孤立导体上的所带静电 3 级：易遭受4000-5999V 静电电压损坏的 电荷。 而敏感静电压大于16000V 的，便不必采取防静电措施。 （3 ）导静电和静电耗散材料 （2 ）静电防护工作区的分级